A 回答 (2件)
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No.1
- 回答日時:
ダイシングソー加工というのは知りませんが、昔ダイシン工業?とかいう会社が開発した精密切断加工のことではないでしょうか
これは、薄いペラペラのダイヤモンドカッターを遠心力で「ピン」とさせてシリコンウエーハを精密に切断する加工機です
現在は「ディスコ」という社名でダイシングソーという製品を送り出してる業界トップメーカーです
参考URL:http://www.disco.co.jp/jp/cp/index.html
No.2
- 回答日時:
ダイアモンド粒を結合剤で固めた薄い回転刃(ブレード)を使う加工法です。
参考URLのようなブレードを先端だけ突出するジグに挟み込んで高速回転させます。切断だけではなく、溝入れ加工も行うことができます。溝入れ加工では、ブレード先端の断面形状をV字や台形などにして所望の溝形状を得たりもします。
また、加工用途によって、ダイアモンド粒の大きさや結合剤の種類を選びます。切断面を滑らかに加工部の欠けを少なくしたければ、ダイアモンド粒が小さいレジンボンド・ブレードを選びます。このとき、テーブルの送り速度や回転速度などを最適な値にすることも重要です。
参考URL:http://www.disco.co.jp/jp/pd/pdbw/blade/index.html
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