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半導体工場の汚泥処理について

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  • 質問者：densuke
  • 質問日時：
  • 回答数：1件

半導体工場で半導体製造時に発生する汚泥（特にフッ素汚泥、有機汚泥）について処理方法をどうしているのか教えて下さい。

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A 回答 (1件)

No.1ベストアンサー

  • 回答者： shoyosi
  • 回答日時：

シリコンウエハの研削・研磨粉を含む排水を処理するのでしたら、ろ過方式が一般的だと思います。



参考URL：http://nmc.nikkeibp.co.jp/news3/n9594.html
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