半導体製造ラインのノイズ対策について

半導体製造装置ではプラズマＣＶＤやエッチャー装置など、ウェハーに電子粒子を当てて回路形成していくと聞きましたが、そのような装置ではノイズは発生しないのでしょうか？また、中性子までは飛ばないでしょうが何らかの放射線が出ていそうに思えます。実はこの半導体装置の近くで使用している機器が誤動作して困っています。どなたか情報アドバイスお持ちの方がいらっしゃいましたらお願いいたします。

No.1 回答者： myeyesonly 回答日時： 2001/11/02 19:24

そのような機器で発生しそうなのは、中性子線とかではなく、Ｘ線と広帯域の電波です。

機械の誤作動とすると後者の方があやしいですね。

この回答へのお礼

早速のご回答有難うございます。広帯域の電波ですか。最初の頃は携帯電話やトラック無線とかの電波を疑って、そのような機器で実験してみたのですが、全く再現しなくて困っています。おそらく周波数帯域が違うのでしょうね。もう少し検討してみます・・・・

お礼日時：2001/11/02 19:34

No.2 ベストアンサー 回答者： motsuan 回答日時： 2001/11/06 08:13

プラズマＣＶＤやエッチャー装置ってプラズマを発生させるためにマイクロ波をつかっているのではないでしょうか？装置のカタログをみれば周波数とかも分かると思いますが？と思って検索を掛けてみたところ

プラズマＣＶＤって２．４５ＧＨｚが普通なんですね。しらなかった。ありがとうございました。
http://www.nuee.nagoya-u.ac.jp/labs/gotoulab/con …
防ぐにはフィルタを付けるとか、吸収剤を使うとかあるかとおもいますが
相手が大出力のときは、もっとパルス的な変な信号や電源を通してのノイズもあると思います。
頑張ってください。

この回答へのお礼

せっかくの回答をいただいていたのに返答が遅くなりすみません。教えていただいたＵＲＬを見てみましたが、やはりマイクロ波の高パワーの電源が影響していることがうかがえます。参考にさせていただきます。

お礼日時：2001/12/02 11:33