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- 回答日時:
ナノ(nano)メートル[nm]は10のマイナス9乗メートルの単位です。
その上の単位がマイクロメータ[μm]で1[μm]=1000[nm]ですね。
現在の高集積化半導体デバイスや光デバイスの内部の配線パターンの加工パターンの配線の最小幅が1[μm]より小さくなったことを意味しています。
通常は数10ナノメートル~数100ナノメートルの配線パターンの技術が確立してナノデバイスが作られるようになったということですね。ただこのようなデバイスの配線パターンのサイズが微細になってくると、流せる電流の発熱の問題での限界、自然のα線と呼ばれる放射線による雑音の影響や配線パターン間の結合の問題が出てきて、微細化に伴って解決しなくてはならない技術の開発が伴って、初めて実用可能なナノデバイスとして完成するわけですんね。
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