某半導体メーカが1.3ミクロンの超微細加工半導体を実用化する際に開発した技術に、隣接回路の相互干渉を防ぐ「ローケイ・ディエレクトリック技術」というのがあります。
新しい技術であるためか、サーチエンジンで検索してもヒットしません。
どのような技術なのかご存知の方がおりましたら、ぜひともお教えください。
よろしくお願いします。

A 回答 (1件)

1.3ミクロンではなく、0.13ミクロンだと思います。

ローケイ・ディエレクトリック技術とは、誘電率の低い誘電体を用いて、配線間のキャパシタンスを小さくすることによって、隣接する配線同士の干渉を小さくする技術です。微細加工が小さくなればなるほど、配線間の間隔が短くなり、そのためにキャパシタンスが大きくなってしまいます。このため、キャパシタンスを決める要因の一つである誘電率が小さな誘電体を用いなければなりません。
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この回答へのお礼

回答して頂いてありがとうございました。私は半導体業界にいるものなんですが、知りたいことがあっても、誰も知らない、どこにも書いてないってことが結構ありまして、今回の「教えて・・・」もあまり期待していなかったので、回答頂いて本当にありがたく思っています。
追伸:誤記まで指摘して頂いて・・・恥ずかしいかぎりです。今後は文章をもっとよく確認してから投稿します。

お礼日時:2000/12/18 00:49

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