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SiO2のBHF(バッファードフッ酸)によるウエットエッチングについて

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  • 質問者：garden2001
  • 質問日時：
  • 回答数：1件

SiO2のウエットエッチングについて聞きたいのですがマスクをSiO2上に施したものと何も施していないものではエッチングのスピードは異なってくるのでしょうか。

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A 回答 (1件)

No.1ベストアンサー

  • 回答者： DASS
  • 回答日時：

なかなか回答がつきませんね。


ちょっと質問内容が専門的すぎるのでしょうか？

ところで、「マスクをＳｉＯ２上に施した」と書かれておりますが、「マスク」とは何ですか？
「マスク」というからには、ＳｉＯ２をマスキング（隠す）しているのですよね？
ＳｉＯ２の上に何かがあれば、フッ酸液と接触できず、エッチングもされないと思います。

マスクのあるところと無いところで、エッチングスピードに差があるのは当然ではないでしょうか？
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この回答へのお礼

ありがとうございました。

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お礼日時：2002/03/05 14:21

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