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- 回答日時:
主に、加工方法の違いです。
現状では、マイクロマシン(MEMS)は、半導体を作るのに使うリソグラフィ技術を使うことが多いです。半導体のプロセス技術は、まあ主には電気系の人がやるでしょうからね。
あるいは、極小(nmオーダー)のものを加工するのは、走査型電子顕微鏡(SEM)の技術の応用が多いんですすが、これも主には電気系あるいは材料系の人が担当するでしょうし。
一方で、最近では、昔ながらの機械系の技術(切削とか、繰りとか、切って貼ったりするとか)なんかを使うものもでてきてます。リソとかSEMとかだと3次元構造を自由に作るのは難しいですけど、機械加工ではかなり複雑なものもできる可能性がありますし。
まあ、もともと、電気系、機械系は、電機てまとめて呼ばれるように、区別すること自体にあんまり意味がない気もしないではないですが。
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