No.1ベストアンサー
- 回答日時:
MOSも結局は同じことなので、もう少し基本的なことを触れたURLを紹介します。
http://staff.aist.go.jp/shiro-hara/schottkytop.h …
MOSの場合には、このショットキー障壁が薄い酸化金属膜によって構成されるものと読み替えてみてください。
とりあえず、上のホームページがあるサイトに参考論文や技術文献があるので、その辺りから学んでみるのも良いと思います。
http://keithleypromotion.com/japan/PulseIV/2596_ …
には、チャージポンピング法(CP)とCV法を組み合わせた測定方法についての記載が掲載されています。
参考書は、なさそうですね。CP法は、既に測定器に内蔵されている手法であり、古い文献を当たって見ると良いと思います。
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