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シリコンウエハの粉塵の危険性について

締切済

  • 質問者：suzuki--
  • 質問日時：
  • 回答数：1件

結晶性シリカなどの遊離ケイ酸は発がん性があるとされているようですが、シリコンウエハも結晶性シリカに分類されるのでしょうか？
その場合、ウエハの切断時に出る粉塵も危険なのでしょうか？
ご存知の方、教えて頂ければ幸いです。

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A 回答 (1件)

No.1

  • 回答者： doc_sunday
  • 回答日時：

>シリコンウエハも結晶性シリカに分類…


分類されません。ウエファは金属ケイ素です。
その毒性は不明です。(汗；
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この回答へのお礼

お礼が遅くなりまして申し訳ありません。
結晶性シリカには分類されないとのことで少しは安心できました。
ご回答ありがとうございました。

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お礼日時：2008/06/24 19:11

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