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- 回答日時:
熱酸化の機構は、Deal-Groveの式で説明できるので、酸化膜厚をx 、酸化時間をtとすると、
x^2+Ax=B(t+τ)
AとBは、温度、酸化雰囲気、酸化面方位などできまる定数、τは酸化初期の速い酸化に対する時間補正項です。
酸化初期( t<<A/(4B) )の時、SiO2形成反応律速で、
x≒B / (A(t+τ))
酸化後期( t>>A/(4B) , t>>τ )では、SiO2内へのOやOHの拡散律速になっているので、
x^2≒Bt
となります。
ご質問の条件では、酸化後期の反応のようなので、単位(秒、分、時間、m、μm、nmなど)が間違っていないのならば、問題ないです。
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