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成膜工程

解決済

  • 質問者：mikiko22
  • 質問日時：
  • 回答数：1件

成膜工程について、アルミの例をあげて説明せよ。
という課題が出されたのですが、、全体的ん流れがよくわかりません。
ネットで探してもよさそうなものが出てこないんです。。
だれか教えてください！！
また、いいサイトがあったら教えてください。

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A 回答 (1件)

No.1ベストアンサー

  • 回答者： sanori
  • 回答日時：

こんにちは。


半導体関連の、元開発技術者です。

ＬＳＩの製造工程では、もっぱらスパッタリングが用いられます。

スパッタリング
http://www.google.co.jp/search?hl=ja&q=%E3%82%A2 …

ほかには、

蒸着
http://www.google.co.jp/search?hl=ja&q=%E3%82%A2 …

めっき
http://www.google.co.jp/search?hl=ja&q=%E3%82%A2 …


以上で十分です。
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