水晶発振式膜厚コントローラーと触針式表面形状測定器

水晶発振式膜厚コントローラーと触針式表面形状測定器の仕組みと原理について調べています。しかし、ホームページや大学の図書館を探したのですが参考文献が見つかりません。どなたか参考になるホームページか参考文献を教えていただけるでしょうか？
宜しくお願いします。

No.1 ベストアンサー 回答者： dolphino 回答日時： 2008/11/12 07:44

どのレベルで知りたいのかによって答えが違うのでしょうが、「水晶発振式膜厚コントローラー」や「触針式表面形状測定器」で検索して出てくる商品の説明では不足ということですよね。

前者は水晶振動子やQCMで検索すると分かるかも。
後者は私もよく分かりませんが、AFMの簡易版かな。

この回答へのお礼

投稿していただきありがとうございます。さっそく調べてみます。また私は金蒸着の方法を調べていてこの「水晶発振式膜厚コントローラー」と「触針式表面形状測定器」にいきつき調べてみようと思いました。
　そして、最後に重ねて御礼を申し上げます。有難う御座いました。

お礼日時：2008/11/15 15:01