仕事でフォトレジストの経時変化を調べているのですが、レジストのビンを開けたままにして、溶媒として使われている溶剤が大気中に揮発、蒸発する量を時間に対してモデル化する場合、どのように考えれば良いのでしょうか?
素人的ですが、十分に大きなビンの口から大気に向って溶媒が蒸散されると考えると、拡散の式 (時間のルートに比例した量)になるか、 最初は濃度が高いため、単位時間当たりの揮発、蒸発量が多いが、だんだん揮発量が少なくなって行くことを考えると、exp的に下がる気もします。 環境温度が一定と仮定すると、単に蒸気圧の分圧で決まるため、濃度には依らない気もします。
質問が支離滅裂ですが、最初のモデルについて、どのように考えれば良いのか、可能な範囲でアドバイスをぜひともお願い致します。
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