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No.1
- 回答日時:
プラズマ自体が導電気体になっているので、プラズマに高周波
電源のパワーを効率よく伝えるためにマッチングBOXを用います。
高周波電源からマッチングBOXまでは同軸ケーブルで接続されて
いると思いますが、ケーブルの特性インピーダンスと、負荷としての
プラズマのインピーダンスがマッチングしていないと反射が
起こります。
反射が起こると効率が悪くなります。これは単にエネルギー
効率だけのことではなく、成膜のスピードが変わることになるので
できるだけ正確で安定なパワーを投入して、膜厚などを時間で
管理できるようにするためでもあります。
もちろん、反射が大きくなると高周波電源自体を壊すことにも
なりかねません。
おそらくマッチングBOX内にはバリコンが2つ入っていて、反射と
入射パワーを検出しながら二つのバリコンをバランス良く制御して
常に反射を極限まで少なくする制御が行われているはずです。
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