コロイダルシリカについて教えてください

化学物質にコロイダルシリカというのがあります。
(1)これはどういうものなのか？
(2)どういう用途に使われるのか？
(3)今までにない使い方は？

以上3つについて詳しい方、何でもかまいませんので知識をつけさせてください。
宜しくお願い致します。

No.2 ベストアンサー 回答者： asuca 回答日時： 2001/03/19 01:39

アルコキシシランを原料に作られる物です。

粒状の物の他繊維状の物もあります。

IC平坦化用の研磨材、シリコンウエハーの研磨材、各種コーティング用充填材、合成ガラスの原料などに使われます。またダイヤモンド研磨による試料の歪、変質層を取り除くのにもつかわれます。

この回答へのお礼

早速のお返事誠にありがとうございます。
貴重なアドバイス参考にさせていただきます。
もし、補足情報などありましたらまた教えていただきたいと思っております。
是非とも宜しくお願い致します。

お礼日時：2001/03/19 22:49

No.1 回答者： SH001 回答日時： 2001/03/19 01:38

１、３についてはわかりませんが

主な用途については
●IC平坦化用の研磨材
●シリコンウエハーの研磨材
●各種コーティング用充填材
●合成ガラスの原料
みたいです。

参考URL：http://www.fusokk.co.jp/products/silica/silica02 …

この回答へのお礼

早速のお返事誠にありがとうございます。
貴重なアドバイス参考にさせていただきます。
もし、補足情報などありましたらまた教えていただきたいと思っております。
是非とも宜しくお願い致します。

お礼日時：2001/03/19 22:51