この間、芸予地震がありましたよね。その地震の後、真空装置のターボポンプは正常に動作していたんですが、その後停電があるとのことで装置を立ち下げて再度ターボポンプを起動しようとしたところ立ち上がらなくなったんですが。地震の後に正常に動作していたのに装置を立ち下げただけで立ち上がらなくなるってのはちょっと理解できないのです。どなたか真空装置に詳しい人、その原因が分かる人、教えて頂けませんか?ターボポンプはスタートしてもソフトスタートのままで少しずつポンプの温度が上がり約50まで上がってしまうという状況です。オイルバックはインターロックがかかっているのでないと思うのですが。

A 回答 (1件)

カテゴリがずいぶん変なところに入っていますね。


私も使うには使う人ですが、そんなに詳しくはありません。
で、もちろんちゃんとターボポンプを始動する手続きはふんだんですよね?

1)ターボの背圧系と対象チャンバをロータリーで引く。
2)十分引いた状態で(大抵10^-2 Torr位は引きますよね)にターボを始動する。

だめならば、メーカに聞いてみるよりないかもしれませんね。
(何で壊れたのかは私にも不明ですが)

では。
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この回答へのお礼

無事復帰しました。有難うございました。

お礼日時:2001/04/13 19:24

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