プラズマCVDでのArガスの役割

文献やネットで調べると, 炭素材料などをプラズマCVDで作製する際に,
成膜時に原料ガスの他にArガスを使用している例を見かけます.

この成膜時に使用しているArガスの役割は何なのでしょうか?
また, 使用する理由はArガスの性質によるものなのでしょうか?

No.2 回答者： doc_sunday 回答日時： 2011/01/04 10:17

＃１のお答えは正しくないと思います。

この場合はアルゴンのプラズマを作っているのです。アルゴンには大きな反応性はないのでエネルギーだけが原料に伝達され、原料を分解します。

No.1 回答者： noe03 回答日時： 2011/01/04 00:46

不活性ガスとしてのＡｒだと思います。

例えばＴＩＧ溶接などでも、不活性ガスで、
容易に入手可能で安値という理由でＡｒが使われます。

http://www.ekouhou.net/%E3%83%9E%E3%82%A4%E3%82% …