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No.1
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こんにちは。
SPMは硫酸と過酸化水素水の混合液で「硫酸過水」とも呼ばれます。
http://www.fujita3.iis.u-tokyo.ac.jp/ja/index.ph …
SC-1、SC-2、硫酸過水については、こちら。(漢字を硫酸「加」水に間違えてますが)
http://semiconductor.seesaa.net/article/124159.h …
BHF(緩衝弗酸)は仕事でよく扱ったので知っています。SiO2 あるいはその類(ガラス、PSG、BPSGとか)のエッチングに使います。
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