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P型拡散層抵抗で20kΩを設計するにはどうしたらよいでしょうか。ただし、パタン幅は3μm、シート抵抗は300Ω/、コンタクト抵抗は1個あたり20Ωです

A 回答 (2件)

ANo.1です。


間違ってました。修正します。

パタン幅というのは拡散層抵抗のパターン幅のことですね?
抵抗は2箇所のコンタクト(メタル配線との接続点)があるので、全体で 20 kΩ の抵抗を作るには、拡散層抵抗の抵抗値を 19960 Ω とすればいいことになります。シート抵抗というのは、幅と長さが等しい正方形(□)の抵抗値の意味なので、幅 W (μm)、長さ L (μm)のパターンの抵抗値 R(Ω)は
   R = シート抵抗*L/W
になります。今の場合、シート抵抗 = 300 (Ω/□)、W = 3 (μm)なので
   19960 = 300*L/3 → L = 199.8 μm
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この回答へのお礼

非常に分かりやすかったです。ありがとうございます!!

お礼日時:2012/01/11 20:53

パタン幅というのは拡散層抵抗のパターン幅のことですね?


抵抗は2箇所のコンタクト(メタル配線との接続点)があるので、全体で 20kΩの抵抗を作るには、拡散層抵抗の抵抗値を 1960Ω とすればいいことになります。シート抵抗というのは、幅と長さが等しい正方形(□)の抵抗値の意味なので、幅 W (μm)、長さ L (μm)のパターンの抵抗値 R(Ω)は
   R = シート抵抗*L/W
になります。今の場合、シート抵抗 = 300 (Ω/□)、W = 3 (μm)なので
   1960 = 300*L/3 → L = 19.6 μm
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