No.2ベストアンサー
- 回答日時:
ANo.1です。
間違ってました。修正します。
パタン幅というのは拡散層抵抗のパターン幅のことですね?
抵抗は2箇所のコンタクト(メタル配線との接続点)があるので、全体で 20 kΩ の抵抗を作るには、拡散層抵抗の抵抗値を 19960 Ω とすればいいことになります。シート抵抗というのは、幅と長さが等しい正方形(□)の抵抗値の意味なので、幅 W (μm)、長さ L (μm)のパターンの抵抗値 R(Ω)は
R = シート抵抗*L/W
になります。今の場合、シート抵抗 = 300 (Ω/□)、W = 3 (μm)なので
19960 = 300*L/3 → L = 199.8 μm
No.1
- 回答日時:
パタン幅というのは拡散層抵抗のパターン幅のことですね?
抵抗は2箇所のコンタクト(メタル配線との接続点)があるので、全体で 20kΩの抵抗を作るには、拡散層抵抗の抵抗値を 1960Ω とすればいいことになります。シート抵抗というのは、幅と長さが等しい正方形(□)の抵抗値の意味なので、幅 W (μm)、長さ L (μm)のパターンの抵抗値 R(Ω)は
R = シート抵抗*L/W
になります。今の場合、シート抵抗 = 300 (Ω/□)、W = 3 (μm)なので
1960 = 300*L/3 → L = 19.6 μm
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