半導体用語の ”アスペクト比”について教えて下さい。

A 回答 (3件)

半導体用語なんでしょうか?


私が良く聞くやつは、参考URLに書いてあるものですが。

参考URL:http://www.ascii.co.jp/ghelp/02/000207.html
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アスペクト比とは、縦横比のことで、柱の高さと柱の幅の比、溝と深さの比です。

半導体以外の分野でも使うんじゃないかなぁ~

集積化にともない、半導体プロセスでは、ミクロン、サブミクロンオーダーの金属配線の作製や絶縁層の加工などが必要となってきました。ミリの世界の加工技術では追いつかないので、光や電子線を使った加工技術により、半導体プロセスは成り立ってます。例えば、フォトエッチングなどでレジストを所望の形に露光、現像し、出来上がった溝に金属をメッキしようという工程を考えます。このとき、現像後のレジストの柱のアスペクト比が大きすぎる(ひょろひょろの柱を想像してください。)と、柱が倒れてしまい、メッキの工程に進むことができません。このように、設計通りのものを作るためには、このアスペクト比に関する考慮は重要です。サブミクロン、ナノオーダーのモノの中には、電子線などを利用して、設計通りの溝を掘ったり、描いたりすることはできても、アスペクト比が実現できる材料がないので、今のところ作製不可能なモノがたくさんあるのです。
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孔や溝の開口幅と深さの比のことだそうです。



幅0.5μm、深さ2.0μmの溝のアスペクト比は4.0 というように使います。

参考URL:http://www.melco.co.jp/news/2000/0613.htm
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