No.1ベストアンサー
- 回答日時:
「選択スパッタ」 は、「selective sputtering」というはずですというか、私は、この表現しかみたことありません。
次に、depth profileの話。
質問の「基板Aの上に元素BとCの薄膜があった時」が、BCBC系多層膜の話なのか、BとCからなる合金薄膜の話なのかわかんないので、とりあえず、合金から。
2種類以上の元素からなる合金薄膜を、スパッタする場合、スパッタレートの違いにより、ある元素ばっかり削れてしまうことがあります。これが、選択スパッタです。XPSやAESなどで、スパッタしながら分析すると深さ方向の元素分析ができます。今BよりCの方がよく削れるとすると、選択スパッタが起こったとしたら、スパッタで出来上がった表面の原子はBとC、どちらの原子が多いと思います?じゃ、その結果は、プロファイルにはどのように現れると思います?という具合に、自分でシュミレーションしてみましょう。BCBC…の多層膜の場合は、レートの補正により、定量性を上げることができるでしょう。なお、スパッタレートには、スパッタ角、結晶性など、元素種以外にいろいろパラメータがあるので念のため。
スパッタしながらの元素分析には、選択スパッタ以外にスパッタされた原子がまた表面にくっつく再付着も問題になるでしょう。まっ、どの程度の精度を求めるかによりますが、開発段階の材料の場合、別の方法でも評価を行いデータを検討することが必要だと思います。
スパッタリング関係の本も山ほどありますし、あと、表面分析の本が参考になると思います。
お探しのQ&Aが見つからない時は、教えて!gooで質問しましょう!
似たような質問が見つかりました
- 英語 This low-frequency selective cutting action provid 1 2023/03/05 12:05
- 英語 英文校正のアメリカ英語、イギリス英語について 1 2022/06/30 15:01
- JavaScript jsで診断コンテンツのページ内切り替えについて 1 2023/04/14 17:31
- Windows 10 Windows10でセーフモードが出来ません。 2 2022/04/22 23:37
- JavaScript セレクトを全て選択されていないと、文字によるエラーメッセージを表示させるコードを調べています 2 2023/06/22 15:48
- 物理学 高一の物理基礎に関する質問です。 100m走の記録が10秒であった時、この選手が走っている最中に瞬間 7 2023/05/23 12:43
- その他(言語学・言語) 日本の多くの高校で英語以外の言語(韓国語や中国語、スペイン語など)の授業を選択することも可能にするメ 3 2023/08/27 22:22
- Windows 10 【Windows11】の起動画面で日本語と英語と中国語の言語選択画面を出して起動時の標準 1 2023/06/18 19:40
- Excel(エクセル) コンボボックス及びリストボックスを5段階連動させる方法をご存知の方ご教授頂きたいです。 Excelで 3 2022/04/03 21:43
- Windows 10 再起動後 Pinが使用できず、PC(windows11)にサインインできない 3 2022/08/30 20:53
おすすめ情報
デイリーランキングこのカテゴリの人気デイリーQ&Aランキング
-
水はなぜコップに沿ってこぼれる?
-
モル分率から原子パーセント(...
-
時間を戻す
-
炭素について
-
ダイヤモンド
-
2原子、3原子分子の自由度に...
-
高校物理 ブラッグ条件について
-
こんなことがネットに載せてあ...
-
金属の化合物の導電性は何で決...
-
粒子と原子の違いを簡単に教え...
-
金属と結晶で、曲がるか折れる...
-
実効原子番号について
-
CO2 の定積モル比熱はおおよそ ...
-
SiO2のいろんな物性値を教えて...
-
アモルファス合金の電気抵抗に...
-
単位体積(1m^3)当たりに...
-
金属(導体)の熱伝導が半導体...
-
希土類のEu2+とEu3+それぞれの...
-
原子ってスカスカなのに・・・
-
原子の大きさ 求める方法
マンスリーランキングこのカテゴリの人気マンスリーQ&Aランキング
おすすめ情報