マグネトロンスパッタリング装置を利用して反磁性のターゲットを飛ばそうとしています。
現在ターゲットを抑える(?)シールドを加工して口径を小さくすることでスパッタリングレートを小さくしようとしています。因みにシールドはSUSです。
口径を小さくする加工をする前は放電していたのですが、小さくすることによって放電が起こらなくなりました。
電圧をかけると反射は大きいもののマッチングが取れるためシールドとターゲットが接触しているということはないと思っています。
口径を戻すと放電するため何が理由かさっぱり分かりません。
もし原因、もしくは改善点が分かる方がいらっしゃれば教えていただけないでしょうか?
お探しのQ&Aが見つからない時は、教えて!gooで質問しましょう!
似たような質問が見つかりました
- 政治 絶対無くしてはいけない物は、どうしたら良いですか? 3 2023/02/01 23:26
- その他(自然科学) 電磁波の周波数と熱について教えて下さい。 電磁波の波長とエネルギーについて、雑学として興味があります 6 2022/04/18 20:00
- 物理学 示すように,真空中の直交座標系を考える。y平面に平行な つ領域Iと領域Iがあり,軸上の領域Iと領域I 1 2023/06/25 14:46
- バッテリー・充電器・電池 電卓の内部基板上に、ボタン電池を挟んでとめるホルダーが、ハンダ接合で付けられています。 使用したいボ 1 2022/11/05 08:17
- バッテリー・充電器・電池 電卓のボタン電池種類について。 電卓の内部基板上に、ボタン電池を挟んでとめる電池ホルダーが、ハンダ接 4 2022/11/05 17:03
- 電気・ガス・水道業 高圧ケーブルの耐圧試験の時のシールド線のアースについて 6 2023/08/04 15:37
- 工学 電磁波シールドはどうすればいいのですか? 4 2022/10/19 12:10
- バッテリー・充電器・電池 小型シール鉛蓄電池の放電後の電池電圧について教えてください。 5 2022/09/08 10:10
- 楽器・演奏 エレキギター初心者です。1年ほど前に買ったアンプからジーとノイズ音?がします。 ギターにシールドで繋 2 2023/01/05 14:44
- 化学 化学 遷移元素の融点について 0 2023/02/07 14:27
おすすめ情報
デイリーランキングこのカテゴリの人気デイリーQ&Aランキング
-
逆方向飽和電流の求め方に関す...
-
pn接合ダイオード
-
空気中の放電距離と電圧について
-
電池について
-
高電圧装置による放電実験につ...
-
テスターで電池残量を測るため...
-
電熱線が作りたい
-
交流負荷線って、増幅回路にお...
-
RC直列回路の時定数について
-
開回路なのに、なぜ落雷で感電...
-
高電圧実験における電極ごとの特徴
-
コンデンサの放電時間の算出方...
-
計算の話で、求めたいのは抵抗...
-
フリスクケースとライターでス...
-
スイッチやモーターの静流子か...
-
蛍光灯に電極が4つある理由に...
-
水の電気分解
-
周波数特性をエクセルで書きたい
-
豆電球の消費電力と抵抗値のグ...
-
アクセサリーの金メッキを剥が...
マンスリーランキングこのカテゴリの人気マンスリーQ&Aランキング
-
テスターで電池残量を測るため...
-
物理基礎 この問題の(2)のDの電...
-
空気中の放電距離と電圧について
-
蛍光灯に電極が4つある理由に...
-
コンデンサの放電時間の算出方...
-
カーバッテリーの容量と交流で...
-
電池について
-
市販の9V乾電池でLEDを光らせる
-
静電気ってどのくらい飛びますか
-
交流負荷線って、増幅回路にお...
-
水道水の電気抵抗値の求め方に...
-
ストリーマ放電の概念
-
開回路なのに、なぜ落雷で感電...
-
太陽電池の直列抵抗
-
スイッチやモーターの静流子か...
-
フリスクケースとライターでス...
-
逆方向飽和電流の求め方に関す...
-
放電後の抵抗
-
バンデグラフの使い方
-
スパッタリングの成膜条件
おすすめ情報