スパッタ の検索結果 (114件 1〜 10 件を表示)

スパッタの結晶構造について

…はじめまして。 スパッタについて質問します。 スパッタで成膜される薄膜の結晶構造は、化合物ターゲットの結晶構造と変わらないのでしょうか。 例えば、TiO2を化合物ターゲットを用い...…

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ホイールの、ポリッシュ・スパッタ・クローム てどんなの?

…ホイールをみていると、ポリッシュやスパッタやクロームとかいてあります。 クロームはピカピカなんだろうなというのはなんとなくわかるようになってきたのですが、スパッタもピカピカ...…

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アーク放電 と スパッタって同じ意味でしょうか?

…アーク放電とスパッタの違いが分らず困っています。 原理として違いがあるのでしょうか? 初歩的な質問で申し訳ありません。。…

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RFスパッタ装置の反射波

…卒業研究でRFスパッタ装置を使っている者です。 実験のときは最初にマッチングを取り、反射波をゼロにしてからスパッタをしていますが、スパッタ中に急に反射波が出て来てしまいます。...…

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スパッタ法で、、

スパッタ法にマグネトロンスパッタ法ってあるんですが、原理や特徴をできるだけ詳しく知ってる方、サイトでも結構なんで教えていただいたら嬉しいです^^;…

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素人でもわかるスパッタ

…素人でもわかるようなスパッタの原理とかが 載っているホームページを探しています。 高校生ぐらいにでもわかるようなものがあれば嬉しいです。 よろしくお願いします。…

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スパッタ法による成長速度と真空度の関係を教えて下さい

…現在,卒業研究でスパッタ法による薄膜堆積を行っています.実験を行う前に,真空度の変化に対して成長速度がどのように変化するかを調べたかったのですが,私が見た参考書では,その事につ...…

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DCスパッタ装置にRFスパッタ出来るよう改造します。

…カソードはもとからあるものを使用し、回路をDC/RF選択しスパッタします。 質問したいことはDC側へRFのノイズやその他影響がでないようLCフィルタを入れた方が良いと言われています。 どの...…

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スパッタについて

…私はスパッタについて「イオン化した原子がターゲットに当たり、ターゲットから原子が放出されること。」と理解していますが、なぜイオン化した原子を当てるとターゲットの原子が放出...…

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STO・アルミナの微細加工(ウエットエッチング、スパッタ堆積)

…SrTiO3・アルミナの基板にウエットエッチングで微細加工を行なおうと試みているのですが、フッ酸等の溶液を使ったSTOの加工ではエッチング面が荒れてしまい、燐酸等を使ったアルミナの加...…

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