フォトレジスト の検索結果 (27件 1〜 10 件を表示)

フォトレジストって何ですか?

…化学メーカーの営業マンです。 最近「フォトレジスト」という言葉を耳にしますが、「フォトレジスト」とはどういったことなのでしょうか? 抽象的な質問で申し分けないのですが、教えて...…

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微細加工に伴ったフォトレジストの進化について

…半導体製造においてさらなる微細化を目指して,これからF2レーザやEUV,電子線,X線へと光源は短波長化されてますよね? それに伴ってリソグラフィーにおけるフォトレジストもそれぞれの波長...…

解決

リン酸とレジストの密着性

フォトレジストの基板の密着性でリン酸処理後の洗浄方法によって 密着性が落ちることはあるのでしょうか?…

解決

銅板エッチングのレジスト

…銅板をエッチングして文字を抜こうと思い、塩化第二鉄は用意できたのですがフォトレジストが入手できません。 どこで入手できるか教えていただけないでしょうか。…

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【英訳】私の解釈が、英語の本来の意味とずれていないか、見てもらえないでしょうか?

…The manufacturing of VLSI chips typically involves the repeated patterning of photoresists, followed by etch, implant, deposition, or other operation, and ending with the removal of the exposed photoresist to make way for the new photoresist to be applied ...…

解決

半導体レーザにおける絞り、切れ味

…すみません。 どなたかご存知ならば教えてください。 半導体レーザを使って、対物レンズでフォトレジスト上にビームを集光し露光する実験をしています。 ビーム径の細いレーザビーム...…

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鉄やニッケル鉄などを気化させる

…いわゆる半導体製造時等に出てくる話なんですが フォトレジストでマスクされた部分以外をイオンプラズマ エッチングする方法として、 鉄などの重く何と反応しても気化しずらい物質をエ...…

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結像に2種類以上の回折光の干渉が必要な理由

…半導体関連の光学を独学で勉強しているところです。 資料を読んでいると、「ステッパーによる結像では、ウエハー上で少なくとも2つの回折光が干渉する必要がある」とあるのですが、そ...…

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有機溶剤ビンからの揮発、蒸発モデル

…仕事でフォトレジストの経時変化を調べているのですが、レジストのビンを開けたままにして、溶媒として使われている溶剤が大気中に揮発、蒸発する量を時間に対してモデル化する場合、...…

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半導体関連のBARCの意味

…レジスト関係の資料を読んでいて、 DBARC(Developable Bottom Anti Reflective Coating) BARC's(Bottom Anti Reflective Coating) CD(Critical dimension) の意味がよく分かりません。 日本語に訳すと、「裏面反射コー...…

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