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HMDS(ヘキサメチルジシラン)が及ぼす人体への悪影響についてお聞きしたいのですが、私の勤める会社では半導体を作る工程で、シリコンウェハーとレジスト液の密着性を促進させるのに使用されているHMDS(ヘキサメチルジシラン)という有機溶剤を使用しています。それをウェハー上に垂らして高回転させる際にHMDSのきつい異臭を感じます。HMDSは発ガン性のある薬品だとも聞きますが、その危険度はどのようなものなのでしょうか。どなたかHMDSについて詳しく教えてください。よろしくお願いいたします。

A 回答 (1件)

管理者より:


同等の質問があるのでそちらをご参照下さい

参考URL:http://www.okweb.ne.jp/kotaeru.php3?q=109771
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