HMDS(ヘキサメチルジシラン)が及ぼす人体への悪影響についてお聞きしたいのですが、私の勤める会社では半導体を作る工程で、シリコンウェハーとレジスト液の密着性を促進させるのに使用されているHMDS(ヘキサメチルジシラン)という有機溶剤を使用しています。それをウェハー上に垂らして高回転させる際にHMDSのきつい異臭を感じます。HMDSは発ガン性のある薬品だとも聞きますが、その危険度はどのようなものなのでしょうか。どなたかHMDSについて詳しく教えてください。よろしくお願いいたします。

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有機溶剤」に関するQ&A: 有機溶剤保管

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参考URL:http://www.okweb.ne.jp/kotaeru.php3?q=109771
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Q「ソルベント」という薬品の代わりとなる薬品

 私はある知的障害者授産所にて、パートタイマーとして働いているものです。
 ハンガーに付着しているシールをはがし、そのシールの粘着物(ベタベタ)を落として、業者に納入しています。
 そのシールのベタベタを落とすのに、今までは『ソルベント』という薬品を使っていました。揮発性が非常に高いものですが、無臭の液体です。職場の先輩によると、『ベンジン系の薬品ではないか』ということでした。これを使うと、シールのベタベタが浮き上がってきて、一拭きでベタベタを取ることができます。
 しかし、最近の原油高騰で、このソルベントの供給がストップすることになってしまいました。これがないと、仕事の進行が大幅に遅くなると先輩職員が嘆いています。何とかしてあげたいのですが、代わりとなる安価な薬品がないかと思うのです。そこで質問なのですが、『シールのベタベタを浮かして取ることができるような、それでいて安価な(または容易に製造可能な)薬品はないでしょうか? 利用者さんたちの健康を害さないものであることが条件なのですが。どなたか良い情報をお持ちの方がおられましたら、どうか教えて下さい。

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 しか...続きを読む

Aベストアンサー

http://www.a-one.co.jp/cgi-bin/catalogue/product.cgi?prcd=20057&viewf=1
若しくは、
http://www.a-one.co.jp/cgi-bin/catalogue/product.cgi?prcd=20059&viewf=1

なんかどうでしょうか?

Q有機溶剤の乾燥法についてお尋ねします。非常に吸湿性の強い有機溶剤を使う

有機溶剤の乾燥法についてお尋ねします。非常に吸湿性の強い有機溶剤を使うのですが、実験で使うときには水分を抜いて乾燥させた状態で使いたいと思っています。こんな時以下の方法で大丈夫でしょうか。

(1)水分が含まれていると仮定して、イオン化合物を溶解させ電気分解する。あるいはそのまま電気分解する。
(2)有機溶剤が電気を通さない場合には導電性の高い有機溶剤を少量加えて、電気分解する。
これ以外に何か良い方法はありますでしょうか。できるだけ加熱という作業はしたくないので、よろしくお願い致します。

Aベストアンサー

Molecular Sieveを使うのが一般的と思います。水分子が入れて、有機溶媒分子が入れない孔があるものを選んでこれを溶媒にいれれば水だけが孔にTrapされて除かれます。よく加熱真空排気とかしたゼオライトを入れてやって、空気と遮断しておけば(たとえば真空ラインにぶら下げておいてもよい)水はかなりよくとれます。
もしその溶媒がアルカリ金属と反応しないもの、たとえばhydrocarbonとかetherとかならNa-K合金を入れる手があります。Na-Kは常温で液体ですから、いつも新しい表面が出ます。これを溶媒にいれて、空気と遮断しておけば乾きます。使うときは真空ラインなどで蒸留してやればよいです。

Q【化学】シリコンとシリコーンの違いを教えてください。 ケイ素は珪素でシリコン。 珪素と珪藻土は同

【化学】シリコンとシリコーンの違いを教えてください。

ケイ素は珪素でシリコン。

珪素と珪藻土は同じですか?

珪藻土は屋根の漆喰ですよね?

漆喰はシリコン?

シリコンは体内に吸収されないので豊胸手術に使われていますよね。

体内に吸収されないケイ素を含んだケイ素水を飲むと下剤みたいに体内の不要物が便と一緒に排出されてデトックスになる。

ケイ素水が体に良いって矛盾はないのでは?

体内に吸収されないケイ素が主成分なので栄養として取り込まれないし、デトックスで便秘も解消する。

これのどこが水素水詐欺の次はケイ素水詐欺かよと言われるのか理解出来ません。

デトックス効果は確実にありますよね。

Aベストアンサー

>ケイ素は珪素でシリコン
正解。
>珪素と珪藻土は同じですか
珪素はケイ素、珪藻土は酸化珪素を多く含む生物の死骸で純度が高いので、用途は広い。
>珪藻土は屋根の漆喰
漆喰は粘土。
>シリコンは体内に吸収されないので豊胸手術に使われていますよね。
それは珪素と酸素とアルキル化合物の化合物「シリコーン」
>体内に吸収されないケイ素を含んだケイ素水を飲むと下剤みたいに体内の不要物が便と一緒に排出されてデトックスになる。
タダの下剤。
>ケイ素水が体に良いって矛盾はないのでは?
矛盾も無いが意味も無い、井戸水を飲むのと同じ。
>デトックス効果は確実にありますよね。
ありません。他の下剤と同じだから、

Qレジストについて

5cm角のガラスにレジストを塗布し、スピンコートで薄く引き延ばしているのですが、中心部分はきれいに平らになるのですが、端にレジストが集まってしまうため盛り上がってしまい、ガラス面全体に均一に広がりません。
今は最後に短時間、高回転数で端に集まったものを飛ばしているのですが、やはり若干残ってしまい限度があります。
よい方法があれば教えていただけませんでしょうか?

Aベストアンサー

inaraです。
あまり長く書けなかったので(3)の方法についてちょっと補足します。

角基板がスッポリ入る大きさを堀り込んだ型(かた)ですが、角基板が乗っかる部分には、真空引き用の小穴をいくつか設けてください(Φ1mm程度の穴でいいはずです)。基板を入れただけだと基板が吸着されず、回転させると基板が飛んで行ってしまいますので。このとき、型も基板も両方とも確実に吸引できるように工夫してください。

レジストを塗布した後は、レジストがくっついて基板を取り出しにくいはずです。そのときは、真空引き用の穴に細い針を入れて基板を裏から押し出すようにすればいいと思います。

型と基板のすきまにレジストが入り込むと、最悪の場合、レジストがスピンコータに吸い込まれてスピンコータが故障しますので、たとえレジストを吸ってもすぐにスピンコータに行かないように、「液溜め」のような構造を設けることをお勧めします。

型にレジストがついたまま次の基板をセットすると、段差ができて均一に塗布できなくなってくるので、使用する度に型を洗浄してレジストを除去するか、1度に使う基板の枚数分の型を作って、常にきれいな型を使うようにしてください。

inaraです。
あまり長く書けなかったので(3)の方法についてちょっと補足します。

角基板がスッポリ入る大きさを堀り込んだ型(かた)ですが、角基板が乗っかる部分には、真空引き用の小穴をいくつか設けてください(Φ1mm程度の穴でいいはずです)。基板を入れただけだと基板が吸着されず、回転させると基板が飛んで行ってしまいますので。このとき、型も基板も両方とも確実に吸引できるように工夫してください。

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Qシリコンウェハーの不純物について

シリコンウェーハに光をあて、止めた時の様子を見て、不純物により小数キャリアのライフタイムが短くなる。ということがわかったのですが、
なぜ不純物が混ざると少数キャリアの寿命は短くなるのでしょうか?

Aベストアンサー

SQUID(古い手法です)でキャリアの性格を解析することをお薦めします。
もっと新しい手法があればそちらを使って下さい。
私の物理化学の実験手法は三十年前のものですから。(汗;


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