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HMDS(ヘキサメチルジシラン)が及ぼす人体への悪影響についてお聞きしたいのですが、私の勤める会社では半導体を作る工程で、シリコンウェハーとレジスト液の密着性を促進させるのに使用されているHMDS(ヘキサメチルジシラン)という有機溶剤を使用しています。それをウェハー上に垂らして高回転させる際にHMDSのきつい異臭を感じます。HMDSは発ガン性のある薬品だとも聞きますが、その危険度はどのようなものなのでしょうか。どなたかHMDSについて詳しく教えてください。よろしくお願いいたします。

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A 回答 (4件)

HMDS=HexaMethylDiSilane(ヘキサメチルジシラン) (CH3)3SiSi(CH3)3 ではなくて


HMDS=HexaMethylDiSilazane(ヘキサメチルジシラザン) [(CH3)3Si]2NH では?

こちらでしたらMSDS(製品安全データシート)があります。関東化学のMSDSによれば刺激性についての記述が主で、慢性毒性、ガン原性などのデータはないようです。なお、MSDSはメーカに要求すればもらえるはずです。また、製品評価技術基盤機構 化学物質管理センターのホームページ(http://www.safe.nite.go.jp/japan/index_j.html)で検索した生分解性・生体濃縮性のデータをあげておきます。

(なおマルチポストはご遠慮くださいね。)

参考URL:http://www2.kanto.co.jp/catalog/DOC/DIR_21/18583 … http://www.safe.nite.go.jp/pdf/kizon/1291.pdf
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おそらくiupac名をご存知でしょうから.以下のサイトで検索するのが簡単でしょう。



使い方は.日本国内でどこかにあったと思いますが.アドレスを忘れました。
医学関係の本屋(南山堂?)で使い方の本が出ていたかと思います。

日本の中毒医療に関する研究はきわめて少なく.日本語の内容は使い物になりません。
下記サイドで探して下さい。
あと.英語の辞書などは.以前回答していますので.すいませんが過去の回答を探して下さい。

参考URL:http://www.ncbi.nlm.nih.gov/PubMed/
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この回答へのお礼

この様なサイトがあるなんて知りませんでした。どうもありがとうございます。

お礼日時:2001/07/27 13:16

こんにちは。

この物質その物について知ってるわけではないのですが。m(__)m

一般にシラン類は、水と反応して分解します。その為、水分豊富な粘膜を傷害する物がほとんどです。

ですから、この場合も蒸気を吸い込むと、鼻、口、気管支粘膜~肺胞を傷害するものと思われます。

そういう物質は大量に吸い込むと肺胞が炎症を起こして水が貯まる肺水腫を引き起こすので危険です。

また、眼も水分が多いので障害を受けます。

ですから蒸気は極力除去すべきです。

実は、前にもこの書き込みを見て調べてたのですが、なかなか資料が見つからないで苦労してるところです。

ゆえに発ガン性~については判りません。

また何か判ったら書き込みます。
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こんにちわ。



この手の件はMaterial Safety Data Sheets(MSDS)を見ればいいです。
以下のHPを調べてみて下さい。

参考URL:http://www.msdssolutions.com/en/
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この回答へのお礼

英語でちょっとむずかしかったけど、こんなサイトがあるなんて知りませんでた。有難うございます。

お礼日時:2001/07/26 09:25

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