こんにちは。今、半導体用のゴムシート(フッ素ゴム)を
コーティングすることでプラズマから保護したいのですが、
どんな樹脂で保護するのがベストか、どなたかご存知ないでしょうか?
また、そんな製品はありませんか?
ご存知の方、教えてください。

このQ&Aに関連する最新のQ&A

A 回答 (3件)

ポリイミドがいいと思います。

耐熱性・高純度性が優れていますが、価格がちょっと高いのが難点ですね。製品名はわかりかねますのが、フッソコーティングのメーカーで調べてみるのも手かな?と思います。
    • good
    • 0

フッ素ゴムはコーティング剤の”のり”が悪そうなので、他の方法を考えたほうが良いと思うのですが。



真空気密シール等の目的でどうしてもフッ素ゴムを使用する必要があるのなら、直接的な解決策ではないのですが、フッ素ゴムシートとプラズマ源との間にSUS等の遮蔽板を置く構造にしたらどうでしょうか?

もしフッ素ゴム使用の目的が真空気密シールならば、これをメタルOリングに変更すれば簡単に解決できそうですが・・・

参考URL:http://www.valqua.co.jp/
    • good
    • 0

あまり詳しくないのですが、フッ素ゴムは耐熱性・耐薬品性に非常に優れていますよね。

これより優る樹脂はそうないと思うのですが…。またフッ素ゴムは非接着性でコーティングは難しいような気がしますが、どうなのでしょうか。
    • good
    • 0

お探しのQ&Aが見つからない時は、教えて!gooで質問しましょう!

このQ&Aを見た人が検索しているワード

このQ&Aと関連する良く見られている質問

Q酸・アルカリ溶液と溶解性

下にも溶解に関する質問をしたものです。

特に金属物質を溶かす際に、酸溶液が良く用いられるように思います。常々「なぜ金属は酸に溶けるのか?」と疑問に思っていました。

酸溶液というのはつまり溶液中のH+濃度が極めて高い溶液ですよね?私はイオン化傾向の高い原子が溶液中で電子を放出する際に、その電子の受け取り手となるH+が多いために溶解反応が促進されるのかなと考えています。
この考えは正しいでしょうか?

もう一つ、アルカリに溶けやすい物質もあると思うのですが、どのような物質が該当するでしょうか?

物質の溶解を考えるときに、酸・アルカリという概念(H+ or OH-の濃度?)が重要視される理由が知りたくて上記のような質問をさせていただきました。抽象的で申し訳ございませんが、よろしくお願いいたします。

Aベストアンサー

特に水酸化物が錯イオンを作りやすいということはありません。水酸化物のうち、水酸化物の錯イオンを作って溶けるのは、ほぼ先にあげた4種類だけと覚えておいてください。

水酸化物イオンでは錯イオンを作らないけれど、アンモニアが配位して錯イオンを作って溶けるものもあります。

Q都内の私立高校で都内ベスト8位に入る位、卓球が強い学校をご存知の方教え

都内の私立高校で都内ベスト8位に入る位、卓球が強い学校をご存知の方教えてください。
来年受験する都内の高校を探しています。

Aベストアンサー

実践学園(中野区中央)、日大豊山(文京区大塚)、安田学園(墨田区横綱)、桐朋(国立市中)、早稲田実業(国分寺市本町)、東海大菅生(あきる野市菅生)、明中八王子(八王子市秋川)、東海大高輪台(港区高輪)
ではないかと思います。
間違いがあったらすみません><

受験も卓球も頑張ってください!(^^)!

Qアルカリ溶解法の反応機構を教えて下さい

実験で過マンガン酸カリウムの合成をしました。水酸化カリウムと塩素酸カリウムを溶かし、その中に酸化マンガン((4))MnO2を溶解させました。このときどのような反応が起こっているのか分かりません。不均化反応もからまって、どのように反応(反応式)を整理していけばいいのか困っています。ご存知の方、回答よろしくお願いします。

Aベストアンサー

失礼、塩素酸カリウムでしたか・・・では

3MnO2+KClO3+6KOH→3K2MnO4+KCl+3H2O

3K2MnO4+2CO2→MnO2+2KMnO4+2K2CO3

Q硬さを変えられる樹脂(ゴム様物質)

 ゴムのようにある程度硬さのあるものでモータのクッションを作ろうと思っています.
主剤に硬化材を混ぜて,その硬化剤の量で自由に硬さを変えられる樹脂(硬質のゴム程度)
をさがしています.できるだけ手に入りやすいものをさがしています.ご存じの方お教え下さい.

Aベストアンサー

発泡ウレタン樹脂の発泡度を変えればかなり堅さが調節できます。

Qアルカリ溶液中でイオンになる物質

こんにちは!

今、アルカリで溶解する物質を探しています。
例えば、水酸化カルシウムは水に溶解させると
アルカリ性溶液になりますよね。
例えば、酸化亜鉛は過剰なアルカリで溶解しますよね。
そのような感じで、溶解させたらアルカリ溶液に
なる、とか、アルカリ溶液で溶解するような
物質を探しています。

特に、チタン、鉄、ニッケルについて
探しています。
自分でも、調べたのですが、参考書が少なく
困っています。

どうか、よろしくお願いいいたします。

Aベストアンサー

大体のいみが分かりました。手持ちの資料がないので.探し方だけ
日本化学会.化学便覧.丸善
を見て.「安定度定数」「錯平衡定数」「酸塩基平衡定数」なんて記載されている頁を探してください。

ここで.
中心骨格(骨格金属)を.チタン.鉄.ニッケル.
配意子を「OH」
とする組み合わせを見つけてください。
記載されている定数を読み取り.適当なOH濃度(pHから計算できますね)で.関係錯体モル濃度と中心骨格金属モル濃度を求めます。

次に.0.1%に相当するモル濃度を計算して.中心骨格金属濃度に対応する仮想錯体のモル濃度を計算します。これら数値から.仮想錯体の平衡定数を求めます。

先ほど上げた数値表の中から.仮想錯体に近い数値を見つけます。この近い数値で計算して.モル濃度を求め.モル濃度から%濃度に換算します。

以上の内容が.おおざっぱな見付かたです。
錯平衡定数の計算方法は.数値表の先頭あたりに記載されていますので.見てください。なお.複数の錯体が存在する場合には.連立方程式を立てる必要があります。連立方程式のときかたについては.海水の化学(東海大学出版界)に海水の例が記載されていますので.参考にしてください。

最後に「数値が近い」というのは.大体対数で1から2の範囲です。活量係数が1桁変動しますので.以上の計算では.対数で2の範囲にあるならば「極めて良く一致している」状態です。また.注意点として.ほうわ濃度付近になるとI(アルファベットのアイで示される係数.係数名忘却)が大きく変動し.活量も同時に大きく変化します。以上の検索方法で.対数で2しか違っていなければ.良く一致していると考える理由です。

大体のいみが分かりました。手持ちの資料がないので.探し方だけ
日本化学会.化学便覧.丸善
を見て.「安定度定数」「錯平衡定数」「酸塩基平衡定数」なんて記載されている頁を探してください。

ここで.
中心骨格(骨格金属)を.チタン.鉄.ニッケル.
配意子を「OH」
とする組み合わせを見つけてください。
記載されている定数を読み取り.適当なOH濃度(pHから計算できますね)で.関係錯体モル濃度と中心骨格金属モル濃度を求めます。

次に.0.1%に相当するモル濃度を計算して.中...続きを読む

Q「理科の”良い”授業の条件」について書かれた文献を探しています。ご存知の方いらっしゃいましたらご教授ください。

お世話になります。初等教員養成系の学部3年生です。
教育実習を通して、授業の善し悪しについて客観的な観点が欲しいな、と感じました。
そこで、いつかの社会科教育法の講義で、社会科の授業評価の観点について(残念なことに詳細を覚えていません。社会認識形成がなんたら・・・とか言っていた気がするのですが・・・)学んだことを思い出したのですが、その理科バージョンを探しています。

理科の”良い”授業とは、一口に言ってしまえば、理科の目標をできるだけ達成した授業ということになりますが、具体的にどのような授業であれば「科学的な見方や考え方を養う」ことができるのでしょうか。
たとえば、「取り扱う内容が一般的である」とか、「児童が応用していく余地がある」とかいったような(上述の社会科授業評価の観点がこんな感じでした)、”良い”授業の条件のようなものはないのでしょうか。そしてそういった観点についての到達度で理科の授業を評価する方法はないのでしょうか。

「理科 授業評価」で検索をかけても、大学講義の授業評価についてばかりがヒットしてしまいます。少し理科教育学の文献を調べても見たのですが、児童に対する評価法(これも間接的に授業評価につながるといえばそうなのですが)しか載っておらず、なかなかお目当ての話にたどり着けません。

キーワードだけでも教えていただければ幸いです。よろしくお願いします

お世話になります。初等教員養成系の学部3年生です。
教育実習を通して、授業の善し悪しについて客観的な観点が欲しいな、と感じました。
そこで、いつかの社会科教育法の講義で、社会科の授業評価の観点について(残念なことに詳細を覚えていません。社会認識形成がなんたら・・・とか言っていた気がするのですが・・・)学んだことを思い出したのですが、その理科バージョンを探しています。

理科の”良い”授業とは、一口に言ってしまえば、理科の目標をできるだけ達成した授業ということになりますが、具体...続きを読む

Aベストアンサー

以下のような小学校などと限定する検索で、いくつかの試みが見つかるかと思います。

ちょうど、ベネッセの書籍で、『移行措置対応のポイント 第3回 子どもが主体的に考える理科の指導』という特集がなされています。

情報誌ライブラリ(小学校向け) - Benesse教育研究開発センター
http://benesse.jp/berd/center/open/syo/index.shtml

授業評価シート - 宮城県登米市立北方小学校
http://www.cms-school.jp/kitakata/index.cfm/6,286,15,34,html

小学校 "授業評価" - Google 検索
http://www.google.co.jp/search?hl=ja&q=%E5%B0%8F%E5%AD%A6%E6%A0%A1+%22%E6%8E%88%E6%A5%AD%E8%A9%95%E4%BE%A1%22&lr=

Qポリイミド膜

 ポリイミド(京セラのKEMITITE CT4112)を使用して様々な膜厚で実験を行っています。

かなり粘度があるので、スピンコートで行うとムラが出たりします。オーブンで硬化した後には穴が開いているような膜ができます。
冷凍庫で保存してあるので数十分待ってから使っています。

ポリイミドはそのまま使用ではなく溶解してからのほうがいいのでしょうか?また、低速回転(500rpm位から)から高速回転にする方式がいいのでしょうか?

得たい膜厚数百nmから1μm程度です。
よろしくお願いします。

Aベストアンサー

京セラのKEMITITE CT4112と言うのは使った事が無いので、粘度も分かりませんし一般的と思われる事しか書けませんが...。
スピンコートで塗るなら低速で少し広げてから、高速にした方が良いのは間違いありません。あとは、メーカーに聞いたら言われるはずなので使っているとは思いますが、適切な径のフィルターで漉しながら使った方が薄くした際に滑らかです。
薄くした際にピンホールが開くなら、溶剤で薄めた方が良いと思います。よほど汚れた物に塗布してるわけで無ければ、数百nmから1μm程度ならそれで普通に得られると思いますが、どうでしょうか。キュア条件や塗布条件など、メーカーに問い合わせれば一発だと思いますが...?

Q【プラズマクラスタ洗濯機】プラズマクラスタって水に溶け込むの? シャープは日本の詐欺会社ですか?

【プラズマクラスタ洗濯機】プラズマクラスタって水に溶け込むの?

シャープは日本の詐欺会社ですか?

Aベストアンサー

用途は [ 自動おそうじ ] のようですね。

【お洗濯のたびにドラムの外側をきれいに洗い流し、終了後はプラズマクラスターを放出。ドラムやヒートポンプユニットまでカビ菌の繁殖を抑制※して、洗濯機内を清潔に保ちます。】
とのことです。
http://www.sharp.co.jp/sentaku/products/esz210-feature.html#title21

QKOHとNaOH、アルカリ性の強いのはどちら?

QNo2517342(906/11/04)の「KOHとNaOHでアルカリ性はどちらが強い」という質問に対して3人の方が答えられています。KOHの方が強いという内容で一致していました。#3の方が理由を書いておられます。Na+の方がイオン半径が小さいので結合が強く解離しにくいからNaOHの方が弱いということです。私もそのように考えたのですが理科年表で溶解度の数値を見ていて分からなくなりました。

質問はどちらの物質がよりアルカリ性の強い溶液を作ることが出来るかを訊いていることになると考えました。イオン結合性物質が水中で解離するのと水に溶解するのとは同じ事だと思います。だからmolを用いて表した溶解度を比べるとアルカリ性を比べることが出来ることになります。溶解度の大きい方がアルカリ性が強い事になります。飽和水溶液100g中に含まれる溶質の量の値が理科年表に載っています。20℃ではKOH52.8g、NaOH52.2gです。80℃ではKOH61.7g、NaOH75.8gです。式量はKOH 56,NaOH 40です。この数値で判断すると式量の大きいKOHの方が飽和溶液のmol濃度は小さいと言っていいと思います。KOHの方がアルカリ性が弱いことになります。強いというのはどういう根拠によるものなのでしょうか。

KClとNaClの場合は0℃、20℃でやはりNaClの方が溶解度が大きいです。80℃ではKClの溶解度の方が大きいです。

QNo2517342(906/11/04)の「KOHとNaOHでアルカリ性はどちらが強い」という質問に対して3人の方が答えられています。KOHの方が強いという内容で一致していました。#3の方が理由を書いておられます。Na+の方がイオン半径が小さいので結合が強く解離しにくいからNaOHの方が弱いということです。私もそのように考えたのですが理科年表で溶解度の数値を見ていて分からなくなりました。

質問はどちらの物質がよりアルカリ性の強い溶液を作ることが出来るかを訊いていること...続きを読む

Aベストアンサー

昨日の投稿の追記です。KOHのpHの値が見つかりました。
ついでに昨日のNaOHのpHの値が間違っていました。

25℃の純水中における pHの値は以下の通りです。

1. KOH (元データ: Anal. Chem. 1985, 47, 514)
0.001 mol/kg of H2O: pH = 10.00
0.01 mol/kg of H2O: pH = 10.99
0.1 mol/kg of H2O: pH = 12.90
1.0 mol/kg of H2O (5.3 [w/w]%): pH = 13.89
3.0 mol/kg of H2O (14.4 [w/w]%): pH = 14.56
6.0 mol/kg of H2O (25.2 [w/w]%): pH = 15.28
9.0 mol/kg of H2O (33.6 [w/w]%): pH = 15.94
12.0 mol/kg of H2O (40.2 [w/w]%): pH = 16.55
15.0 mol/kg of H2O (45.7 [w/w]%): pH = 17.14
17.5 mol/kg of H2O (49.5 [w/w]%): pH = 17.62

2. NaOH (元データ: JACS 1945, 67, 1689)
2.0 mol/kg of H2O (2.0 [w/w]%): pH = 14.18
3.0 mol/kg of H2O (10.7 [w/w]%): pH = 14.43
6.0 mol/kg of H2O (19.4 [w/w]%): pH = 15.03
9.0 mol/kg of H2O (26.5 [w/w]%): pH = 15.63
12.0 mol/kg of H2O (32.4 [w/w]%): pH = 16.23
15.0 mol/kg of H2O (37.5 [w/w]%): pH = 16.77
20.0 mol/kg of H2O (44.4 [w/w]%): pH = 17.46
25.0 mol/kg of H2O (50.0 [w/w]%): pH = 17.92
29.0 mol/kg of H2O (53.7 [w/w]%): pH = 18.21

29.0 mol/kg of H2OのNaOH水溶液のデータは、ほぼ飽和状態に対応していますが、
KOHの方のデータは飽和状態まで少し足りません。
25 ℃ではKOHは54.2 [w/w]% (21.1 mol/kg of H2O)分溶けることになっておりますが、
上のデータを用いて無理やり線形近似で補間して求めてみますと、
pH = 約18.31と計算されました。この値だとKOHの方が少しだけpHが高いことになりますが、正直誤差範囲です。

なお論文から引いてきた上のpHの値は、実験的に求まったアルカリイオンの活量係数と
水の活量から求まる計算値であり、電極で測定されるpHの実測値は相当ばらつくようです。
例えば17.5 mol/kg of H2OのKOH水溶液の電位差から求まるpHの実測値は16.7で、
様々な理由で測定誤差が生じるようです。
同一人物によって比較されたデータを見ない限り、どっちの液のpHが高いかの結論は出せないと思います。

つまり、KOHとNaOHの飽和水溶液の塩基性をpHの大小だけで決定するには、
測定誤差が大きくて妥当な結論が出せないということです。

昨日の投稿の追記です。KOHのpHの値が見つかりました。
ついでに昨日のNaOHのpHの値が間違っていました。

25℃の純水中における pHの値は以下の通りです。

1. KOH (元データ: Anal. Chem. 1985, 47, 514)
0.001 mol/kg of H2O: pH = 10.00
0.01 mol/kg of H2O: pH = 10.99
0.1 mol/kg of H2O: pH = 12.90
1.0 mol/kg of H2O (5.3 [w/w]%): pH = 13.89
3.0 mol/kg of H2O (14.4 [w/w]%): pH = 14.56
6.0 mol/kg of H2O (25.2 [w/w]%): pH = 15.28
9.0 mol/kg of H2O (33.6 [w/w]%): pH = 15.94
12.0 ...続きを読む

Qこんな進学校ご存知ですか

以前、(最近数ヶ月以内)とある民放番組で出演していた学校の名前をご存知のかたいませんか。
うろ覚えなのですが、以下のような学校です。
(1)田んぼの真ん中に構える″超″進学校
(2)できたばかり
(3)確か、中・高とある。
(4)寮がある(通学も可)
(5)勉強スケジュールが細かく定められており、一日のほとんどが勉強時間。番組の中では、「一日の自由時間が●(30)分」と、うたっていました。

Aベストアンサー

それは岡山県にある「朝日塾中学」です。全国で始めて株式会社が設立した学校ですが、先日TVでとりあげられていました。

「朝日塾中学 株式会社」と二つのキーワードを並べて検索すればいくつかのURLがヒットします。ここでは参考のために1つだけ記しておきます。

参考URL:http://www.asahi.com/kansai/wakuwaku/info0526-2.html


人気Q&Aランキング

おすすめ情報