こんにちは。今、半導体用のゴムシート(フッ素ゴム)を
コーティングすることでプラズマから保護したいのですが、
どんな樹脂で保護するのがベストか、どなたかご存知ないでしょうか?
また、そんな製品はありませんか?
ご存知の方、教えてください。

A 回答 (3件)

ポリイミドがいいと思います。

耐熱性・高純度性が優れていますが、価格がちょっと高いのが難点ですね。製品名はわかりかねますのが、フッソコーティングのメーカーで調べてみるのも手かな?と思います。
    • good
    • 0

フッ素ゴムはコーティング剤の”のり”が悪そうなので、他の方法を考えたほうが良いと思うのですが。



真空気密シール等の目的でどうしてもフッ素ゴムを使用する必要があるのなら、直接的な解決策ではないのですが、フッ素ゴムシートとプラズマ源との間にSUS等の遮蔽板を置く構造にしたらどうでしょうか?

もしフッ素ゴム使用の目的が真空気密シールならば、これをメタルOリングに変更すれば簡単に解決できそうですが・・・

参考URL:http://www.valqua.co.jp/
    • good
    • 0

あまり詳しくないのですが、フッ素ゴムは耐熱性・耐薬品性に非常に優れていますよね。

これより優る樹脂はそうないと思うのですが…。またフッ素ゴムは非接着性でコーティングは難しいような気がしますが、どうなのでしょうか。
    • good
    • 0

お探しのQ&Aが見つからない時は、教えて!gooで質問しましょう!

このQ&Aを見た人が検索しているワード


人気Q&Aランキング

おすすめ情報