4探針法による半導体の電気的測定の仕方を知っていたら教えていただきたいです。
教科書を見ても抵抗率の測定法については載っているのですがそれと同じような方法でいけるのでしょうか?
接触抵抗がなくなってより精度の高い測定ができるらしいのですが先生の話を聞いてもいまいちわかりません。
やはり探針の間隔とかは一定でないとまずいのでしょうか?
探針の間隔は抵抗率を調べるときのみ一定で電気的特性(C-V、I―V)の測定のときは電圧測定と電流測定が分かれていればいいのですか?
電気回路については初心者なので詳しく教えていただけるとありがたいです。
よろしくお願いします。

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A 回答 (3件)

補足です。



当然と言えば当然ですが、温度による影響があります。
また、半導体の場合、光が当たると若干起電力が発生するので、光を当てないようにする必要があります。
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4探針法とは、測定原理は4端子法と同じですが、読んで字のごとく、針を接触させて測定します。


通常Siなどの表面に形成した導電層の抵抗(電気伝導率)を測定するために使用します。
C-VやI-V測定とは、ねらいが異なります。

もし実際に測定される場合のために、簡単に注意点を記述します。

測定の対象となる半導体は、多くの場合Si等のウエハ(薄い板状)のもので、表面に針を接触させます。
サンプルによっては、針の先端形状や押し付ける圧力を上手く選んでやらないと、測定できない事が有ります。
また、針やサンプル表面が汚れたりすると、影響を受けます。

針の間隔が変わると補正をしなければ正しい測定は出来ません。
厳密に言えば、針を降ろすときに微妙に場所がずれたりしますが、これも影響します。

一般に4本の針は1mm程度の間隔で直線に配置されますが、どの2本の組み合わせで測定するかによって
測定結果が変わります。

さらに、針を接触させる場所による補正が必要です。
電流は2針の間を3次元的に広がり流れますが、測定サンプルの端を測定すると、流れが歪められるため、
正しい値が得られません。
一般に位置補正として計算で求めますが、上記の測定する針の組み合わせを変えた結果から補正する方法もあるようです。
(表面に形成した導電層の抵抗を測定する場合には、主に表面を2次元的に流れます。)
(流れは、丁度N極からS極に磁力線を引くような感じです。)

Siウエハ等の測定では、測定結果は 通常 Ω/cm2 となります。
ごく表面の伝導層に流れた電流を測定しているわけです。
この測定結果に、伝導層の厚みを掛けると、抵抗率(Ω/cm)が求まります。
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4探針法というのは電気抵抗測定時に接触抵抗の影響を排除する4端子法と同じものだと思います。

過去に質問があり、私が答えましたので、それをご覧下さい。ねじ止めを探針に置き換えて読んでもらえばまったく同じだと思います。
わかりにくいところがあれば、再質問にお答えします。

参考URL:http://oshiete1.goo.ne.jp/kotaeru.php3?q=51283
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Q小3の漢字テスト不合格の勉強法

初めて利用します。

小学3年生の娘が、2学期末の漢字のまとめテストで不合格となり、
(50問ずつ5回の問題に90点以上を3回とったら合格)
北海道なので20日以上ある冬休み中、
毎日漢字ドリルのページ一枚にのっている10個の漢字を
ノートに書き写す宿題がだされました。
ドリルには
「漢字」
「音・訓」
「画数」
「部首」
「熟語」3~4種類
が載っていますが、
「熟語を3回ずつ書く」という指示以外
細かくどのようにやるか・・・という説明がなかったのか
娘は部首は書かずにドリルの形式を写し、熟語4種類を4回ずつ書いていました。
(自分なりに頑張ろうと量を増やしたようです)

それでは、大事な部分が抜けていると思い、

部首を明記
熟語の読みも書く
練習の回数は3回に減らす

と、量を減らして質をあげる工夫をアドバイスしました。


毎日一生懸命取り組んでいますが、所要時間は50分はかかり
全員にだされているプリント学習に手が回りません。

娘は、冬場のスポーツをやっているので休み中も毎日朝から夕方まで
練習に励んでおり、お正月明けからは大会もあり、
冬休みだからといって家でゴロゴロしている生活ではありません。
本人はその為に冬に備えて過ごしてきているので、
練習や大会を減らす事はできません。

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という課題をだし、親も子も大変な目にあっていました。

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あまりのやり方に保護者からも意見がでたのですが・・・・。

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なぜか最後のテストで失敗してしまい今回の結果となりました。

せっかく漢字が好きになってきて、イヤイヤだった漢字検定にも
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親として疑問を感じています。

私は漢字は部首と書き順をしっかり理解した上で、
読みと色々な熟語を知る事で、日常で使っていけると考えています。

先生のこの宿題の出し方は
我が子だけでなく、漢字が苦手な子が更に嫌いになるだけのような気がして
このやり方がとても心配です。
親がサポートできない(しない)家庭の子は、単なる罰ゲームになっているのではないかと。

今後の勉強法を工夫するためにも、
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よろしくお願いします。

初めて利用します。

小学3年生の娘が、2学期末の漢字のまとめテストで不合格となり、
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ドリルには
「漢字」
「音・訓」
「画数」
「部首」
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が載っていますが、
「熟語を3回ずつ書く」という指示以外
細かくどのようにやるか・・・という説明がなかったのか
娘は部首は書かずにドリルの形式を写...続きを読む

Aベストアンサー

NO2です。
ご丁寧なお礼の文を有難うございます。
宿題はおそらく、下記の様な図ではないかと思いますが、宜しいでしょうか?

熟語と合わせて覚えるというのは少し大変かもしれませんね。熟語は複数の文字の意味を理解できて初めて成り立つものなので(例外も多数ありますが)、1つ1つの文字の意味の理解が重要になります。
個人的には1文字ずつ取り上げていった方が良い気もしますが。

3回×4種類の熟語を書くという事ですね。メインの漢字は12回書く事になりますが、熟語として捉えると3回だけですから、反復回数としてはあまり多い方では無い様に思えます。故に理解・記憶させるには、かなり丁寧な説明が必要になりそうです。

時間は掛かると思いますが、その文字1つ1つの意味を理解しながら進めた方がいいんでしょうね。
でないと、ただの作業になり兼ねないので、宿題をする本人も苦痛しか感じないかもしれません。
今回の漢字に限らず、勉強が楽しいものと感じるようになれば、学習意欲が大きくなるので、お子さんの様子を見て、好みそうな学習プランを立ててあげるといいでしょう。

NO3の方の回答の様に遊びの要素があった方がいいかもしれません。
(具体的には雑誌で見かける漢字クロスワードパズルの様なもの)

まとめますと
・宿題は現状のまま進めていく。
・宿題とは別に勉強をして漢字の理解力を深める。
・本人が苦痛に思わないように、遊び(ご褒美)などの要素を加えた勉強法をする。

あまり具体的ではないですが、参考程度に読み流してください。

NO2です。
ご丁寧なお礼の文を有難うございます。
宿題はおそらく、下記の様な図ではないかと思いますが、宜しいでしょうか?

熟語と合わせて覚えるというのは少し大変かもしれませんね。熟語は複数の文字の意味を理解できて初めて成り立つものなので(例外も多数ありますが)、1つ1つの文字の意味の理解が重要になります。
個人的には1文字ずつ取り上げていった方が良い気もしますが。

3回×4種類の熟語を書くという事ですね。メインの漢字は12回書く事になりますが、熟語として捉えると3回だけですから、反...続きを読む

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