フォトレジストの基板の密着性でリン酸処理後の洗浄方法によって
密着性が落ちることはあるのでしょうか?

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A 回答 (2件)

どのような意図からの質問でしょうか?


さらに、「フォトレジスト」はどのようなものを使用した場合なのでしょうか・・・?

補足お願いします。
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基板とはSi or 金属膜堆積後Siですか?


洗浄とは、HPM、APMを指しているのでしょうか?

補足お願いいたします。

この回答への補足

専門的な話ですみません。WFは下地が酸化膜です。そこにリン酸処理
(ある膜のエッチング処理後)をすると次工程でレジストが剥がれて
しまいます。おそらくこれはリン酸がWF表面で悪さをして、レジストの
密着性に悪影響を及ぼしているのでは?と思っています。
どんなんでしょうか??

補足日時:2001/08/31 00:55
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Q有機溶媒の比誘電率について質問です。

有機溶媒の比誘電率について質問です。
溶媒の比誘電率は温度上昇と共に低下しますが、
温度と比誘電率の関係を示した式はありますか?



また、標準温度でメチルエチルケトンとN,N-ジメチルホルムアミド を同比率で混合した場合の比誘電率は単純にこれらの誘電率18.6と38の平均でよろしいのでしょうか?


恥ずかしながら学がないので、初心者にもわかりやすく教えて頂けると幸いです。
また良い書籍などご存知の方いましたらご教授お願いします。

Aベストアンサー

> 温度と比誘電率の関係を示した式はありますか?

溶媒によっては実験式があります.理論式はないわけではないですが,精度は低く,実用性はありません.

> また、標準温度でメチルエチルケトンとN,N-ジメチルホルムアミド を同比率で混合した場合の比誘電率は単純にこれらの誘電率18.6と38の平均でよろしいのでしょうか?

だめです.混合溶媒に一般的に適用できる組成と誘電率の関係式もありません.

> また良い書籍などご存知の方いましたらご教授お願いします。

古典ですが,フレーリッヒ「誘電体論」を推薦しておきます.

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Aベストアンサー

分野によって違うかもしれませんが、
生化学の質問でしたら、

リン酸化
リン酸基を結合させる反応

酸化的リン酸化
電子伝達系に共役して起こるリン酸化
http://ja.wikipedia.org/wiki/%E9%85%B8%E5%8C%96%E7%9A%84%E3%83%AA%E3%83%B3%E9%85%B8%E5%8C%96

ミトコンドリアでATP合成酵素によってADPがATPになる反応は酸化的リン酸化、リン酸化はどちらも使えますが、
(先生によってはリン酸化と呼ばないように言うかもしれませんが)

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Q溶媒の比誘電率

基本的な質問かもしれませんがお願いします。

溶媒の比誘電率が大きくなると、イオン対の解離が促進されると思いますが、その解離の機構が分かりません。
なぜ比誘電率が大きいと解離が促進されるのでしょうか。

もしよろしければご教授願えないでしょうか。
よろしくお願いします。

Aベストアンサー

御存知のように、溶媒の誘電率とは、分子の集合体である溶媒のマクロ物性の一つであり、電解質の溶解に関する機構に関して、その一部を説明するものでしかありません。よって、誘電率と分子レベルでの挙動を一対一対応させる事は出来ませんので、水に食塩を溶解した場合を例に、分子レベルでの挙動を説明いたします。
NaClはNa+とCl-になる事で各々のイオンはとても安定になりますが、お互いを非常に強く引き合う為、これを引き離さねばなりません。Na+の周りにある水分子は、その酸素原子(ローンペアー)をNa+側に向けます。更に、一部の電子がNa+側に引き寄せられます。要するに双極子能率を有する水分子の配向が変わり、分子内の分極が増幅し、更に電子移動が起こっています。これによりNa+は安定化しましたが、水分子自体は不安定になりました。水分子自体の安定性に加え、隣接する水分子同士の反発が上がっています。Na+を取り囲む水は、外側にH原子を向けています。H上の電荷も通常の水分子より高くなっています。よってその外側にある水分子は、これを安定化するように、酸素原子を中に向けますが、その配向・分極・電子移動の度合いは、Na+に近接した水分子に比べれば小さくなります。Na+との作用も距離が遠くなるので、弱まります。更にその外側でも同様です。水同士の水素結合(sp3混成の四面体構造)をとりやすくなりますし、Na+に引き寄せられながらも、比較的自由に振動/移動できるようになります。Cl-も同様です。食塩水濃度が高い場合、Na+とCl-はかなり近くにあります。計算されてみるとすぐにわかります。この場合は、Na(Δ+)..Cl(Δ-)といった方が妥当でしょう。この極端に分極した分子(?)を水分子が包んでいるとのイメージ。
“誘電率”といった場合、少なくとも溶媒/溶質間の電子移動の効果は含みませんが、溶媒分子の配向や分極、溶媒分子間の電子移動を部分的に含む事となります(誘電率の測定時に起こりうる事)。
よって、元々のご質問に立ち返りますと、誘電率に対する電解質の溶解に関する説明としては、分子の配向が変わる事による電荷の安定化であり、水素結合や配位水などの積極的な溶媒/溶質間の作用は含まず、溶媒分子の分極等は含みはしますが、近似的には無視して良いとの理解で構わないと思います。

御存知のように、溶媒の誘電率とは、分子の集合体である溶媒のマクロ物性の一つであり、電解質の溶解に関する機構に関して、その一部を説明するものでしかありません。よって、誘電率と分子レベルでの挙動を一対一対応させる事は出来ませんので、水に食塩を溶解した場合を例に、分子レベルでの挙動を説明いたします。
NaClはNa+とCl-になる事で各々のイオンはとても安定になりますが、お互いを非常に強く引き合う為、これを引き離さねばなりません。Na+の周りにある水分子は、その酸素原子(ローンペアー)をNa+側...続きを読む

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「逆にアルカリ性の汚れは酸性の洗剤で良く落ちる」


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>なんで酸性とアルカリ性を混ぜると中性になるの?どういう化学式?
世界中の化学式は書けません。疑って居る様ですが、何か理由があるのでしょうか?
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