No.2
- 回答日時:
基板とはSi or 金属膜堆積後Siですか?
洗浄とは、HPM、APMを指しているのでしょうか?
補足お願いいたします。
この回答への補足
専門的な話ですみません。WFは下地が酸化膜です。そこにリン酸処理
(ある膜のエッチング処理後)をすると次工程でレジストが剥がれて
しまいます。おそらくこれはリン酸がWF表面で悪さをして、レジストの
密着性に悪影響を及ぼしているのでは?と思っています。
どんなんでしょうか??
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