X線光電子分光法でスペクトル取得に数十時間かかる要因は何でしょうか？ EDXとかより長いのがなぜか知

X線光電子分光法でスペクトル取得に数十時間かかる要因は何でしょうか？
EDXとかより長いのがなぜか知りたいです。

No.1 ベストアンサー 回答者： konjii 回答日時： 2022/03/19 09:43

波長分散型分光器では、3種の結晶板をゆっくりと回転させて元素を探ります。

微量元素が含まれる場合は、積算するので数十時間もかかります。しかし、分解能がいいので、例えばedxで重なる硫黄とモリブデンの区別ができます。
edxの場合１５～３０kevくらいの電子線を当てて全元素を一度に測定できるので速いのです。

この回答へのお礼

ありがとうございます。
化学状態まで議論するので、精度高い分光器で時間がかかるということでしょうか。
見るのが電子とX線の違いは影響ありますでしょうか？

お礼日時：2022/03/19 22:22