Siウエハの熱酸化膜

Siウエハって熱処理してSiO2を形成させることがあるって聞いたんやけどこれについて教えてほしいです。
・なんでSiO2を形成するんですか？
・チップとか実装するとき、この絶縁膜はどうすればいいん？

No.2 回答者： Wabu_478 回答日時： 2022/04/02 20:53

SiO2が良好な絶縁物であり、かつエッチングによる加工が容易だからです。

チップはダイ（ウェハを切った物）をレジンなどで覆っていますので、SiO2が露出してるわけではありません。

No.1 回答者： mygoonickname 回答日時： 2022/04/02 20:19

こんばんは。

検索した記事ですが、下記が参考になるでしょうか？
https://www.usjpc.com/tech-intro/process

SiO2の絶縁膜、その絶縁膜に穴を開けて、金属(銅など)を埋め込む事で、
電気的に配線していますね。