シリコンウエハを2枚重ねてくっつけるような技術は,あるのでしょうか?

A 回答 (2件)

くっつけると言っても、接着剤でくっつけるわけではないですよね?


ちょっと質問内容に具体性が乏しいので、補足をお願いしたいです。

ところで、シリコンウエハ同士ではないのですが、シリコンウエハとガラスをくっつけるのに、「陽極接合」という技術を使います。
ウエハとガラスを接触させておき、電気を流す事で、ガラス中の成分がシリコンと反応して化合物を作り、くっつくそうです。

詳しく書かれたHPを見つけられなかったので、専門書などを探してください。
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はい、あります。


最近(数年前?)では、片方のウエハーの表面を酸化させSiO2を形成します。そのSiO2側にシリコンウエハーを重ねSi-SiO2-Siとします。 これをSOI技術と言い基盤を通してのノイズの減少に役立てたり、基盤への通過電流を押さえ低電力ICを作る際に利用します。
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