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ロータリポンプをOFFするときにポンプ内を大気圧に戻します。戻さないとポンプ内部のオイルが真空側に上がってきてしまうからです。
このあがってきてしまう仕組みなのですが、オイルが減圧されている空間に引き込まれてしまうからという解釈でよいでしょうか?でもだとすると動作させている最中はなぜ平気なのでしょうか?

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A 回答 (2件)

>>オイルが減圧されている空間に引き込まれてしまうからという解釈でよいでしょうか?


その通りです。
まず添付の特許庁のURLをご覧下さい。
ポンプ本体はオイルの中にドボンと漬けてあります。
次はポンプ本体の作動方法をサンユー電子様のHPから頂きました:
http://www.sanyu-electron.co.jp/genri/pump_02.html
回転を止めた後、放って置くとこの回転部のすりあわせを通過して、ガス出口から油がポンプ作動部を満たし、次に真空ラインの方へ満ちてきます。
>>でもだとすると動作させている最中はなぜ平気なのでしょうか?
^^回転しているからです。
油には粘度があり、すりあわせ部分から漏れ込む油の量が回転によって追い出される油の量を下回っていれば回転中には油は戻ってこない「理屈」です。
ですから、油はある程度の粘度が必要で、その粘性のため空回しでもロータリーポンプを動かすにはかなり力が要ります。
なお、最近の同軸型のロータリーポンプではドブ漬けでないので緊急時に安全なものが多いです。
ン十年前も日立製作所様のポンプは油の逆止弁が付いておりました。
ポコポコと可愛い音を立てている「安物」を使うと「泣きを見る」ことになります。本当に安いけど。^^

参考URL:http://www.jpo.go.jp/shiryou/s_sonota/hyoujun_gi …
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この回答へのお礼

非常に分かりやすい説明、どうもありがとうございました。

ちなみにうちの研究室にはまだ「ポコポコ」音を立てるポンプが何台か残っています。

お礼日時:2005/04/11 17:47

こんにちは。


動作中もちゃんと引き込まれてますよ。
それを動力で排出してるだけです。
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この回答へのお礼

ありがとうございました。

お礼日時:2005/04/11 17:30

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どうぞよろしくお願いいたします。

Aベストアンサー

No1 の回答の式より
 E = hc/λ[J]
   = hc/eλ[eV]
となります。
波長が nm 単位なら E = hc×10^9/eλ です。
あとは、
 h = 6.626*10^-34[J・s]
 e = 1.602*10^-19[C]
 c = 2.998*10^8[m/s]
などの値より、
 E≒1240/λ[eV]
となります。

>例えば540nmでは2.33eVになると論文には書いてあるのですが
>合っているのでしょうか?
λに 540[nm] を代入すると
 E = 1240/540 = 2.30[eV]
でちょっとずれてます。
式はあっているはずです。

Qスパッタリングの成膜条件

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鉄は磁性を示すので放電が起こるかどうか心配していましたが、うまく起ってくれません。
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どなたかマグネトロンスパッタリングに長けた方、教えていただけないでしょうか。

Aベストアンサー

ターゲット厚を下げても磁場が出ていないので、放電が立たないと思われます。
通常、シャッターやシールド類は非磁性のSUSで出来ていますので、装置改造などで、極端に極間距離を変えてない場合は放電電圧がちょっと変わるぐらいで、特に問題は起こしません。

磁性体ターゲットのスパッタで万全を期すには・・・
1)カソードの磁石をSm-Coか、Nd-Fe-Bに変える(現状はフェライトが入っています)。
2)バッキングプレートにヨークを備えたものを用いる(同心円状に軟磁性鉄コア)・・・手間がかかる
3)ターゲット製造時に冷間圧延で歪みを入れ、透磁率を下げる(目標20以下)。
→ 裏技として、ターゲット表面に斜めにスリットを入れ、見かけ上の透磁率を下げる。

1)、2)は結構、費用と手間が掛かるので、ちょっとスパッタする程度なら、3)+ターゲット厚さを薄くが現実的。

ターゲットの厚さを薄くするだけでは、鉄ではあっという間にエロージョン部に鋭い穴が開きます。
これはターゲットの厚みのためだけではなく、一旦エロージョンが生じるとターゲット=鉄のコアの一部が欠けることになり、磁場が集中するためです。
ちなみに1)+2)で純鉄ターゲットをスパッタした場合は、5mmのターゲットに半日で穴が開きました(切り目を入れたように鋭いエロージョンが発生)。
飽和磁化の低いNiでは、厚みを薄くするだけで使えましたが、鉄は透磁率を下げないと無理です。

ところで、UBMを使用とのことですが、この状態ではUBMの効果は全く発揮されません(単に装置がたまたまUBMということであれば問題ありませんが)
スパッタはDCですか、RFですか?(おそらくDCだと思いますが)

ターゲット厚を下げても磁場が出ていないので、放電が立たないと思われます。
通常、シャッターやシールド類は非磁性のSUSで出来ていますので、装置改造などで、極端に極間距離を変えてない場合は放電電圧がちょっと変わるぐらいで、特に問題は起こしません。

磁性体ターゲットのスパッタで万全を期すには・・・
1)カソードの磁石をSm-Coか、Nd-Fe-Bに変える(現状はフェライトが入っています)。
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3)ターゲッ...続きを読む

Q金属、半導体の抵抗の温度変化について

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関係があるようでしたらこれも教えて頂くとありがたいです。

Aベストアンサー

こんにちは。

>>>金属については、温度が上がると粒子が熱振動し自由電子が流れにくくなるというようなことを聞いたことがありますがあっていますか?

だいたい合っています。
金属については、温度が上がると正イオン(自由電子が引っこ抜かれた残りの原子)の振動が激しくなるので、自由電子が正イオンに散乱されます(進路を乱されます)。
それをマクロで見たとき、電気抵抗の上昇という形で現れます。

>>>半導体についてはまったく理由がわからないので詳しく教えて頂くとありがたいです。

半導体の中において金属の自由電子に相当するものは、電子とホールです。この2つは電流を担う粒子ですので、「キャリア」(運ぶ人)と言います。
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>>>金属については、温度が上がると粒子が熱振動し自由電子が流れにくくなるというようなことを聞いたことがありますがあっていますか?

だいたい合っています。
金属については、温度が上がると正イオン(自由電子が引っこ抜かれた残りの原子)の振動が激しくなるので、自由電子が正イオンに散乱されます(進路を乱されます)。
それをマクロで見たとき、電気抵抗の上昇という形で現れます。

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Q商用電源のR,S,Tの意味

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商用電源のラインの区別に R,S,Tという記号が用いられていますが、この語源と正しい意味をお教え下さい。ちなみに、実験室の配電盤には単三200と単100が来ております。単三200では逆位相の100Vを使っていることは一応承知しています。

Aベストアンサー

No.1のものです。
>ちなみに、実験室の配電盤には単三200と単100が来ております。単三200では逆位相の100Vを使っていることは一応承知しています。
読み飛ばしていて、この部分、後から気になりました。

単三は、中性点つき200Vです。
仮に、これに記号を振って両端がR,Tとし中性点をSとしてあるとR-S間が100V、S-T間が100VそしてR-T間が200Vになります。
これは、それぞれ電圧を当たれば、直ぐ分ります。

一般的な前の回答の三相3線ですとR-Sが200V、S-Tが200V、T-Rが200Vです。
言わずもがなのことですが、気になりましたので書かせていただきました。

Qオシロの入力インピーダンスについて

私の使っているオシロスコープは入力インピーダンスを
50Ωと1MΩに切り替えることができるのですが、切り替えたらどうなるのかよくわかりません。
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同じシグナルを入力したときに50Ωと1MΩとでは波形が違うみたいです。
切り替えると何が起こるのでしょうか?
よろしくお願いします。

Aベストアンサー

50Ω

信号は電力伝送されますから
あまり強い信号を入力してはいけません。
測定相手が50Ω系であれば、配線を切って
オシロに接続することで、反射の無い
きれいな(本来の)波形を観測することができます。
また、50Ωだと受け側は純抵抗に近くなりますから
容量成分で生じる不都合(スパイクなど)も
発生しません。
ただし、配線を切れないところの測定には適しません。
(こちらに電流が流れてしまうため)

1MΩ

信号はハイインピーダンス受けとなりますから、
配線を負荷につないだままで、
もしくは回路の途中からでも信号を取り出して
波形を観測することができます。
しかし、ハイ受けですから、回路に多少影響を
与えます。
また、出力回路のような処では
別に終端抵抗を必要とします。
そしてインピーダンスは高くても
プローブの容量成分(20pFぐらいかな)は
そのまま残りますから
波形に乱れが生じる場合もあります。

なお、オシロの回路は、1MΩ受けに造られていて
50Ωの時は入力端に抵抗が挿入されるように
作られているはずです。

50Ω

信号は電力伝送されますから
あまり強い信号を入力してはいけません。
測定相手が50Ω系であれば、配線を切って
オシロに接続することで、反射の無い
きれいな(本来の)波形を観測することができます。
また、50Ωだと受け側は純抵抗に近くなりますから
容量成分で生じる不都合(スパイクなど)も
発生しません。
ただし、配線を切れないところの測定には適しません。
(こちらに電流が流れてしまうため)

1MΩ

信号はハイインピーダンス受けとなりますから、
配線を負荷につないだ...続きを読む

Q論文中の用語 (薄膜)

ECRスパッタに関する論文を読んでいて,
わからない言葉にいくつかぶつかりました。
以下の単語です。

as depo, アニール, フラットバンド電圧, バリア耐性, arb

ご存知の方,1つでもいいので教えて下さい。
いつもわからない単語に苦労するので,
出来れば良い辞書などを紹介していただけると幸いです。
英語の論文を読むときも訳し方がわからず,
technical termにも苦労しています。

どうかよろしくお願いいたします。

Aベストアンサー

as depo:
depoはdepositionの略.
成膜した直後の状態や,そのサンプルを指す.

アニール:
サンプルを,温度を上げた状態にしばらく保つこと.
サンプル内で発生している応力を,緩和させるなどの目的で行われる.
アニールしたサンプルに対し,
アニール前のサンプルが,as depoということになる.

フラットバンド電圧:
バンドダイヤグラムは知っていますか?知らなければ別に勉強して下さい.
半導体のバンドダイヤグラムは,
表面や界面では一般に彎曲しています.
不純物や欠陥,空間電荷などが存在するからです.
半導体に適当な電圧をかけると,
バンドを平らにすることができますが,
平らにするために,必要な電圧のことです.

バリア耐性:
すみません,分かりません.

arb:
たぶん,arb. unitと書いてあったと思います.
arbitraryの略で,「任意の」の意味.
例えば,X線回折では,
回折角2θを変えた場合,どのθでピークが現れるかと,
ピーク強度の,相対的な比のみが重要で,
ピーク強度の絶対値には,特に意味がありません.
そんなとき,グラフの縦軸は,「任意目盛」の意味で,
arb. unitと注記されます.

専門用語を,網羅的に収録した辞書は,まず見つからないでしょう.
その専門分野のハンドブックや,用語集を使うのが現実的です.
どの分野のハンドブックを見ればよいか,分からない場合は
不明な単語を元の綴りのまま,検索エンジンで調べてみるのが早いです.
運がよければすぐ,誰かが作った用語集にヒットするでしょう.
そうでなくても,いろいろな人の研究データが引っ掛かります.
(海外の英語ページが引っ掛かることが,多いですが)
いくつか眺めれば,その単語がだいたいどんな意味を持つのか,見当がつきます.

as depo:
depoはdepositionの略.
成膜した直後の状態や,そのサンプルを指す.

アニール:
サンプルを,温度を上げた状態にしばらく保つこと.
サンプル内で発生している応力を,緩和させるなどの目的で行われる.
アニールしたサンプルに対し,
アニール前のサンプルが,as depoということになる.

フラットバンド電圧:
バンドダイヤグラムは知っていますか?知らなければ別に勉強して下さい.
半導体のバンドダイヤグラムは,
表面や界面では一般に彎曲していま...続きを読む

Q【10の13乗】って英語でどう読むのですか?

【10の13乗】って英語ではどう読めばいいのでしょうか。

これにかかわらず指数の英語での読み方を教えてください。宜しくお願いします!

Aベストアンサー

こういうのは乗数とか累乗というのでは?
xのn乗は、x to the nth powerといいます。
2乗はsquared(5の2乗はfive squared),3乗はcubed(7の3乗はseven cubed)ともいいます。

『これを英語で言えますか?』講談社 は、他にも数式の読み方なども載っていますよ。

QExcelで平方2乗平均を計算するには

Excel2003で
平方2乗平均を計算するにはどうしたら良いのでしょうか?
手っ取り早い方法を教えて下さい。
よろしくお願い致します。

Aベストアンサー

訂正。

誤:平方2乗平均は、各要素を2乗した物の和の平方根です。
正:平方2乗平均は、各要素を2乗した物の和を要素数で割った物の平方根です。

従って、A1~A30の30個のセルの平方2乗平均は以下の式で求めます。
=SQRT(SUMSQ(A1:A30)/COUNT(A1:A30))

平方和を要素数で割るのを忘れてました。


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