No.2ベストアンサー
- 回答日時:
前回答者と一部重複しておりますが、私の認識している範囲で。
酸化膜 Siの中に酸素が拡散していくわけであり、良好なSiO2/Si界面をつくります(現在のMOSトランジスタの主流)。原子量比Si:O=1:2の理想的な酸化シリコンになりやすい。そして高温で形成されることから緻密。耐薬品性も良好(フッ酸によエッチング速度もCVDより遅い)。
CVD Si:O比は成膜条件に大きく依存。よって未結合の手も多数あり。その他の原子(反応ガスに含まれるH等)も多量に入る。すなわち欠陥の多い膜。したがってMOS用絶縁膜には向かない(でもTFT-LCDでは、その低温形成の特徴からMOSトランジスタに使われています)。耐圧も熱酸化より悪い。また保護膜で用いられる場合はアルカリ金属のブロックの目的でリンを混ぜた酸化シリコン(PSG)を使うことが多いと思います。
No.1
- 回答日時:
熱酸化とCVDで酸化膜の特性は異なります。
熱酸化 酸化膜の密度が高く高品質。装置も単純でプロセスも制御しやすい。ただし配線間や配線後の絶縁膜に用いることができない。
CVD 装置やプロセスはやや複雑。比較的低温(酸化の場合)で膜を形成できるが、膜質や膜厚が不均一にならないよう注意が必要。膜質は劣る場合もある。
下記のページなども参考にされるとよいと思います。
http://www.planet.ne.jp/kniwa/process/film.htm
http://www.screen.co.jp/eed/Semi_nyuumonn/4_04.h …
参考URL:http://www.planet.ne.jp/kniwa/process/film.htm, http://www.screen.co.jp/eed/Semi_nyuumonn/4_04.h …
お探しのQ&Aが見つからない時は、教えて!gooで質問しましょう!
似たような質問が見つかりました
- 化学 酸化皮膜について。 ファーストピアスに純チタンを使っています。 ネットで、チタンの表面に酸化皮膜がで 1 2022/11/19 19:28
- 日用品・生活雑貨 「アルミやかん」購入後に、酸化皮膜を作るのに「米のとぎ汁」以外で… 3 2023/01/18 05:13
- その他(自然科学) アルミの陽極酸化被膜について 6 2023/04/08 07:30
- 化学 カリウムやナトリウムなどのミネラルを摂取するのは健康に良いことらしいですが、 例えば0.01mol/ 6 2023/02/15 10:47
- 物理学 cd4007のnmosfetの絶縁酸化膜の容量、チャネル幅、チャネル長が知りたいのですが、わかる方教 1 2022/05/11 16:13
- 病院・検査 宮城県・山形県・福島県で6時間透析を行っている場所を教えてくれませんか? 2 2022/04/04 22:20
- 環境学・エコロジー 二酸化炭素の排出 1 2023/08/07 16:40
- 環境学・エコロジー 炭化水素骨格からの酸素の脱離について 1 2023/07/01 10:41
- 病院・検査 ファミマのミートパスタを食べたら、体調悪くなりました。原因はどれでしょうか? 3 2023/01/14 22:07
- 車検・修理・メンテナンス 研磨剤入液体ヘッドライトクリーナーは、研磨後ヘッドライト表面に保護コートがされる製品がありますか。 2 2023/03/27 21:12
おすすめ情報
デイリーランキングこのカテゴリの人気デイリーQ&Aランキング
-
アニリンの反応について
-
鉄のネジ穴にステンレスのボル...
-
アレンはなぜπ結合が直行してい...
-
SUS310Sについて
-
食酢を鍋で煮る場合について
-
金属状態図のα相、β相、γ相...
-
鉄の摩擦係数
-
錆(サビ)ってすぐにできますか?
-
金属材料SS、MSとは
-
鉄とステンの簡単な見分け方は...
-
鉄鉱資源と鉱山資源と鉱産資源...
-
脱炭のメカニズム
-
金属探知機の数値データが意味...
-
鉄を塩酸で洗った後に発生する...
-
百円ショップの鉄分補給わっか...
-
固溶体、金属間化合物、合金の...
-
砂糖が熱くなると焦げる原因は?
-
熱処理について
-
炭化物って、焦げて黒くなった...
-
なぜ?アルカリだと鉄などは、...
マンスリーランキングこのカテゴリの人気マンスリーQ&Aランキング
-
鉄のネジ穴にステンレスのボル...
-
金属にサビが発生するまでの時間
-
SUS310Sについて
-
金属探知機の数値データが意味...
-
鉄の摩擦係数
-
食酢を鍋で煮る場合について
-
ステンレスの色は高温で変化し...
-
錆(サビ)ってすぐにできますか?
-
金属状態図のα相、β相、γ相...
-
熱処理について
-
百円ショップの鉄分補給わっか...
-
電気を通すもの
-
ケチャップやソースで10円玉...
-
質問です。 酢は、鉄を錆させる...
-
鋼のメンタルと鉄メンタルどっ...
-
真鍮をアンティーク調に変色さ...
-
アニリンの反応について
-
金属材料SS、MSとは
-
鉄は、放っておくとすぐ酸化し...
-
固溶体、金属間化合物、合金の...
おすすめ情報