ラウエ振動

僕は薄膜成長をしています。
ｘ線測定すると低角側で観測されるラウエ振動について知りたいのですが、どのような現象か教えていただけますか？
ネットや本でも探したのですがなかなか見つかりませんでした。

No.1 ベストアンサー 回答者： tetujin3 回答日時： 2005/07/22 14:54

薄膜試料のXRDを観察する場合，観察目的とする薄膜試料の厚みをかせぐため，

X線を低角度に入射して回折図形を得る薄膜X線という手法が使われます。
この方法によれば，低角度のみならず，さらに高角度に位置する主要な回折ピークにおいても，SNが単純なガウス分布ではなく，主要ピークの周辺がぎざぎざになる
強度振動が観察されます。
これがラウエ振動であり，薄膜結晶の結晶化度，すなわち健全性（品質の健全性）と相関がある場合に観察されます。