Pa・m3/sとはどういう解釈をすればよいのですか？

ガスシールの漏れで、許容値が１×10E-6Torr・L/sと言われました。正直こういう単位は初めてです。
換算でPa・m3/sにするには0.1333をかけるようで、つまり0.1333×10E-6Pa・m3/sとなります。
しかし困っています。これはどういう意味なのでしょう？最初僕はm3/s・Paと同じと思ってました。つまりある3Pa圧力で漏れ量が0.3999×10E-6m3/sである。しかしどうも違うようです。
Pa・m3/sとは1Paに漏れるのに必要な漏れ量でよいのでしょうか？となるとですね、気密容器に3Paかけて置いて、しばらくしたら2Paとなっている。つまり漏れ量は1Pa×0.1333×10E-6Pa・m3/s＝0.1333×10E-6m3/s？
それとも3Paで0.3999×10E-6m3/s？
差圧を扱うのかそれとも容器圧を扱うのか分かりません。
ネットでは真空中で1Pa上昇させるのに必要な流量とあります。
良く分からなくなりました・・教えてください。

No.1 ベストアンサー 回答者： sat000 回答日時： 2005/11/24 22:44

何についてのリークなのかが良く分からないのですが、真空機器でしょうか？

Torr・L/sについてですが、真空機器ではリークレートとしてポピュラーな単位です。
最近はMKSになっているのかもしれませんが。
さて、意味ですが、毎秒何個のガス原子・分子が通過するかという意味です。
リークチェックにHeを使うとすれば、He原子が毎秒何個通過するかということになります(真空機器のリークチェックでは一般的にHeガスを使います)。
さて、なぜ毎秒何個という単位になるかというと、Torrを換算します。
1気圧(760 Torr)において室温で1モルのガスは22.4リットルですから、1 Torrにおけるガスの密度は、6.02×10^23/(22.4×10^3 cm3)/760～3.5×10^16 個/cm3となります。
これにTorr L/sのLをかけると、単位は個となります。
従って、毎秒何個という単位となります。

ちなみに、通常は、リークディテクタという機械を使ってリークレートを測定します。
ただ、１×10^-6 Torr・L/sというと、真空機器としてはリークレートが大きすぎるので、リークディテクタでは測るのが厳しいかも知れません。

それから、圧力変化はリニアではなく単純にはexpです。
V(∂p/∂t) = Q - p s
で求められます。
ここで、Vは容器の体積、pは圧力、Qはソース項、sは排気速度(L/s)です。
ソース項には一般的にリークレートと壁からのアウトガスがあります。
単純にはと書いたのは、Qが変わらないという単純化をすると解析的に解けてexpとなるという意味です。

あなたは学生さんでしょうか。
もしそうであれば周囲の先輩や先生に教えを乞えばもっと詳しく教えてくれるでしょう。

この回答へのお礼

返答が遅くなり申し訳ありません。
単純ではなさそうですね・・・

お礼日時：2005/12/09 20:54