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半導体関係に詳しい方でアニールをする目的を教えてください。

A 回答 (3件)

不純物を注入したシリコン断面はバラバラになっており、


それを酸化炉の高温下で不純物を整列される目的だったと思います。

※イオン加速器内で高真空化で電子をイオン化して不純物のガスを注入します。
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一般的には,結晶中の乱れや応力を減らす目的で一定時間高温に保つ工程のことをアニールと言います。

熱エネルギーを与えることで結晶をエネルギー的により安定な状態に近づけようとするわけです。
有名なものにシリコンにおけるイオン打ち込み工程後のアニール,青色発光ダイオードでのp型伝導を得るためのアニールなどがあります。前者では高速イオンの衝撃によって生じた原子配列の乱れを減らします。後者ではp型伝導をじゃまする水素を結晶から追い出すことが目的です。
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 半導体製造のどの工程での話を指しているのか分かりませんが、


一般的には加工時に発生した応力を緩和させるためではないかと
思います。

 
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