ポリイミド膜

　ポリイミド(京セラのKEMITITE CT4112)を使用して様々な膜厚で実験を行っています。

かなり粘度があるので、スピンコートで行うとムラが出たりします。オーブンで硬化した後には穴が開いているような膜ができます。
冷凍庫で保存してあるので数十分待ってから使っています。

ポリイミドはそのまま使用ではなく溶解してからのほうがいいのでしょうか？また、低速回転(500rpm位から)から高速回転にする方式がいいのでしょうか？

得たい膜厚数百nmから1μm程度です。
よろしくお願いします。

No.1 ベストアンサー 回答者： momotoume 回答日時： 2006/06/19 17:57

京セラのKEMITITE CT4112と言うのは使った事が無いので、粘度も分かりませんし一般的と思われる事しか書けませんが...。

スピンコートで塗るなら低速で少し広げてから、高速にした方が良いのは間違いありません。あとは、メーカーに聞いたら言われるはずなので使っているとは思いますが、適切な径のフィルターで漉しながら使った方が薄くした際に滑らかです。
薄くした際にピンホールが開くなら、溶剤で薄めた方が良いと思います。よほど汚れた物に塗布してるわけで無ければ、数百nmから1μm程度ならそれで普通に得られると思いますが、どうでしょうか。キュア条件や塗布条件など、メーカーに問い合わせれば一発だと思いますが...？

この回答へのお礼

詳細な回答有難うございます。
早速、メーカーに問い合わせてみました！

お礼日時：2006/06/19 20:19