シリコンウェハ

教えてください．
シリコンの物性値は１つですが，シリコンウェハのように薄くなると(またはその過程で)方向によって物性値が変化することはありますか？

No.1 ベストアンサー 回答者： tetujin3 回答日時： 2002/04/23 09:17

一般的に，物質の表面と内部の構造が違います。

したがって，物性値も変化します。たとえば，ナノサイズの金の粒子は，手のひらの上で溶融したり，鉄などの超微粒子は，空気中で発火したりします。これは，物質の表面のエネルギーが高いことに起因します。
さて，ウエハー程度の厚み（ここではミクロンオーダーと仮定します）では，表面の影響はあまり大きくないことが予想されますから，異方性はさほど発現しないのではないのでしょうか？むしろご質問は，これまでに得られたシリコン表面の物性値は，バルク内部（完全結晶）の物性値として代表させることが可能かどうかという点と解釈しますが，回答はNOです。