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半導体のウェットエッチングで、DHFとBHF(BOE)を同じ槽で処理することは可能ですか?材質はPTFEです。液の交換では、純水で洗浄するぐらいですが・・・。

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A 回答 (2件)

量産だと規模にもよりますが、


1)いちいち交換していられない、
2)ライフを管理する必要がある(コスト!)
ということで、可能か不可能化の前に最初から別槽を考えるべきですよ。
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この回答へのお礼

遅くなり、申し訳ございません。
ありがとうございました。

お礼日時:2007/04/16 12:53

これは実験/試作レベルということですよね?


どちらかの処理後にちゃんと純水洗浄すれば問題ないと思いますよ。

この回答への補足

回答ありがとうございます。そうです。試作レベルです。ただ、量産レベルだと、問題ありますか?

補足日時:2007/03/21 19:29
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