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- 回答日時：
高周波特性の反転層側という意味でしたら、基板の不純物濃度が大きい（すなわち抵抗率が小さい）ほうが大きいです（というよりは、小さくならない）。
実際のデバイスではソース/ドレインを基板側電極にすると思いますが、この時は低周波特性のように反転層側でも絶縁膜で決まる容量になると思います。
参考URL：http://www.acsu.buffalo.edu/~inmookna/semiconduc …
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