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透明電極（ITOや酸化インジウム）の形成方法

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  • 質問者：kou_a
  • 質問日時：
  • 回答数：1件

透明電極として使われているITOや酸化インジウムをスパッタ法以外のやり方で形成する方法がありましたら教えてください。出来ればゾル・ゲル法などがいいです。（具体的な溶媒なども教えてもらいたいと思います。）

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A 回答 (1件)

No.1ベストアンサー

  • 回答者： 38endoh
  • 回答日時：

ITO ではありませんが，同じく透明電極のネサガラス（SnO2 薄膜）でしたら，Sol-Gel で作れた思います。

作製経験があるわけではないので，具体的な方法はわかりません。
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この回答へのお礼

ありがとうございました。

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お礼日時：2003/02/12 13:41

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