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私の扱っている装置の試料交換室は
ロータリーポンプとターボ分子ポンプで真空を引いています。
たまにロータリーから白煙があがるので、一度ロータリーを停止したいと思っています。
ロータリーを停止する方法がよくわからないので教えて頂きたいのですが。

ちなみに、交換室とターボ分子ポンプの間にバルブ(1)が、
ターボ分子ポンプとバルブ(1)の間にArの線が、
ターボ分子ポンプに直接?N2の線が、
ターボ分子ポンプとロータリーの間にバルブ(2)があります。
またロータリーの排気口から外部へ通じており、その間には
isolation blockというものがあります。
isolation blockとは何なのでしょうか?

この場合、ターボを停止させるにはロータリーも
停止させないとだめですよね?
そのときの手順も教えていただきたいのですが。。。

あまり真空に関して詳しくありませんので、
つまらない質問ばかりすると思いますが
これからもよろしくお願いいたします。

A 回答 (1件)

ロータリーポンプの白煙は気化したオイルではないでしょうか?


通常ターボポンプを停止後ロータリーポンプを停止の順です。
そうしないとターボポンプ内に空気が入ってしまいオイルが酸化してしまうからです。
停止操作は機器によって異なります。
付属の取扱説明書を参照なさるか製造メーカーへお問い合わせになることを勧めます。
真空ポンプ類は正しい手順を踏まないとオイルが逆流したり破損したり二度と使えなくなったりしますので十分注意して下さい。
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この回答へのお礼

早速ご回答ありがとうございました。
手元に取説がないので困っていました。

ということは、まずバルブ(1)を閉じる。
次にターボを止める。
(このときはN2でリークしないとだめなのでしょうか?
ターボの取り扱いは慣れておらず、さっぱりわかりませんので。。。)
その次にバルブ(2)を閉じ、ロータリーを止める。
これでOKなのでしょうか?

お礼日時:2001/03/01 15:45

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