すみませんが、また真空装置についての質問です。

私の装置は、測定室、準備室、試料導入室の3つに分けられており、
測定室には、イオンポンプとチタンサブリメーションポンプ
準備室もイオンポンプとチタンサブリメーションポンプ、
試料導入室にはターボ分子ポンプとロータリーポンプがあります。

今回、準備室のイオンポンプの点検のために
イオンポンプを一時的に停止させようと思っています。
その場合、3つの方法を考えたのですがどの方法がよろしいのでしょうか?
もしその他に適切な方法があれば教えていただきたいのですが。。。

(1)系全体をventさせる。
(2)イオンポンプを停止させてしまうと準備室の真空度がかなり落ちてしまうので
準備室と試料導入室との間のバルブを開けて準備室をターボ分子ポンプとロータリーポンプで引く。
(こうすると2つのポンプに負担がかかって壊れそうなきがするのですが)
(3)測定室と準備室との間のバルブをあけて、測定室のイオンポンプで準備室も引く。

真空に関して素人なので、どうしたらいいのかわかりません。
適切なアドバイスをよろしくお願いいたします。

A 回答 (1件)

それぞれの部屋の中身が分からないと解答できない部分もあるのですが、一番シンプルな解答は、


◎測定室←→準備室←→資料導入室間、準備室←→イオンポンプ間、全てのバルブを閉じる。
点検の長さにもよりますが、半日程度ならある程度の真空は維持できるはずです。(少なくともventが可能な系であれは、問題無い程度の真空は維持できます。)
それとも中から、常に大量のガスが発生する状況にあるのでしょうか?(そんな系を引き続けている系というのも危険な気もしますが・・・)
もちろん、点検後の再開時には準備室の真空度に応じて、最初からチタンサブリメーションポンプへの引き口を開けるかどうかの判断をして下さい。
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この回答へのお礼

わざわざ丁寧なご回答をありがとうございました。
結局、システム全体をventすることになりました。
(イオンポンプの調子がよくないので。。。)
この装置には、イオンポンプは準備室の中にあり
それらを区切るバルブはないようです。

またこれからもこういった真空のことでお世話になると思いますが
よろしくお願いいたします。

お礼日時:2001/03/09 16:13

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