半導体製造設備で

半導体製造設備で人がケガをするケースというのはどういうものがあるのでしょうか？お恥かしながら私自身は半導体業界についてあまり知らないのですが、同設備に起因して発生し得るＰＬクレームリスクについて調べております。もし現場でのご経験がある方や、半導体製造設備の関連業務でご存知の方がいらっしゃればお願いします。漏出したガスで中毒になるetc、ケガでなくても結構です。具体的な事故例だけでなく、「こんな危険性はあるよ」「こういうのが怖いからこういう教育や研修が実施されているよ」とかとか。何でも結構ですので宜しくお願い致します。
また、人体に限らず、第三者の所有物を壊してしまうなどの危険性も併せてご教示頂ければ幸いです。

No.3 ベストアンサー 回答者： shuukita 回答日時： 2003/03/17 21:00

＃２です。

まず、後工程は完成したウエハーを検査して、ひとつひとつのチップに切ります、
そのご、基盤にボンディング、ワイヤボンディングをして、組み立てて検査して
終了。（ちょっとおおざっぱに書きました)

10年前はあまり半導体の本もなかったのですが、今はけっこう置いているので
簡単な本を購入されたらいいかもしれません。

後、装置起因による事故ですね、知らないですね。
搬送装置とかも人が通らないようなところにあったりするし、
もともと、前工程に使われる機械は、何100℃も温度上げてみたり、真空装置で
ガスをプラズマかけたり、露光装置とかも目にはよくないですし、洗浄装置も
危険な薬品使うんですが。
後工程は、機械がウエハをきったりはったりするのがメインですから。
今考えてみたらけっこう危険お仕事なんですね。

この回答へのお礼

貴重な情報ありがとうございました。
なんとなく前工程は有毒・有害な影響、後工程は受傷系のリスクがあるようですね。危険な仕事という事が充分に分かりました。改めて感謝申し上げます。

お礼日時：2003/03/18 09:35

No.2 回答者： shuukita 回答日時： 2003/03/15 17:12

半導体製品工場は、大きく分けて前工程と後工程があるのですが。

前工程では、化学薬品やガスを多く使います。
化学薬品での薬傷を防ぐために、絶対に保護具保護めがねの着用を行います。
有機溶剤、酸性の薬品、アルカリ性の薬品、猛毒ガスなどなど使います。
まず安全教育としてガスボンベの取り扱いや、薬品の取り扱いは注意するように
おこなわれるはずですし、定期的にミーティングを開いたりしてました（今は
わたしは全然違う職種にいるので、変わったかもしてませんが）。

半導体工場に限らずどんな工場でも安全については厳しいはずですし、事故はかなりの起因で作業者個人の不注意、過失が原因に思われます。
あと、半導体工場で使われている機械はびっくりするくらいの値段のものが
多いですが、オペレータは作業手順書によって作業をおこなうので
心配ありません。今はロボット化してるのでけっこう人のはさまれ事故とかも
あるのかもしれませんね。

具体的な事故例は社外秘となっていたので公表しないこととします。

この回答への補足

分かり易い説明ありがとうございます。何となくイメージ出来てきました。
やはり危険性がきちんと認知されていて、万全な対応がなされている訳ですね。
作業者の過失・不注意が主な原因との事ですが、例えば、表示や警告の不備によって作業者の過失を引起した事例等ご存知ではないでしょうか？半導体製造設備（設備製造メーカーにとっての製品）そのものに問題があった等、メーカー側の過失を問われるようなケースをご存知でしたらご教示いただければ幸いです。
また、後行程とは何をするのかの概要だけでも教えて頂けると助かります。
すいません、本当にド素人なものでご迷惑をお掛けします。

補足日時：2003/03/17 11:57

No.1 回答者： noname#6070 回答日時： 2003/03/14 15:47

半導体製造設備と言っても色々あるんですが…

業界も装置のことも知らない方に説明するのは難しいですね。
前工程ですか？後工程ですか？
工程が沢山あると思うのですが…
ガス云々記述がありますが、どの工程でどんなガスを使用するかご存知ですか？

危険と考えられる部分にはピクトグラフの安全警告ラベル（警告、危険、注意の３種類）が貼ってあると思います。
だから、どこが危険かはそれで判断できると思います。
勿論、装置のマニュアルにも記述があるはずです。

具体的には機械駆動部分に指をはさむとか感電するとか、ガス漏れも勿論あるでしょう。熱処理があれば火傷とか…

まずは現場を見ることです。工場見学に行こう！

この回答への補足

早速のご回答ありがとうございます！
ご指摘の通り業界知識がほとんどないくせに質問させて頂いております。
指を挟むとか、感電するとか、そのレベルであれば想像出来るのですが、半導体製造設備特有の事例があれば何でも結構ですので教えて頂ければ幸いです。

・エッチング溶液が洩れ作業員が火傷を負った(?)
・マイクロ波が付近の機械に悪影響を及ぼした(?)
↑すいません、聞きかじった知識をフル活用してこの程度です、、、。

また、警告ラベルの表示不備が問題になることもあるかと思います。
ラベルのコンサルを専門に行う会社も存在すると伺いました。
具体的にトラブルになった事例をご存知でしたら併せてお願い致します。

極力自分でも調べたく思いますので、操作マニュアルや製造工程の内容が分かるサイト等、ご存知でしたらご教示頂きたく存じます。

事前勉強もせずお願いばかりで恐縮ですが、宜しくお願いします。

補足日時：2003/03/14 17:01