今度はつまらない質問なんですが、

・Siウエハーを用いてRHEEDパターンをとる時に研磨面ではなく光沢のない面を用いるように言われました。なぜなんでしょうか?研磨面の方がきれいなパターンがきれいに見えると思ったのですが。

・基板上に堆積した薄膜の色はバンド構造を知れば、どういう色になるのかわかると聞きました。どういう方法でわかるのか教えてください。

・とても単純な疑問なんですが、真空装置を用いるときに試料を取付けたりする作業中はアルミホイルの上で行いますが、キムワイプとかの上でやったほうがきれいな気がするのですが。。。なぜなんでしょうか???

・イオン銃の電流密度の測定法がよくわかりません。参考になるHPでも構いませんので。。。

わかるものだけでも構いませんので、暇な時にご回答よろしくお願いいたします。

A 回答 (3件)

イオンビームの電流密度の測定について


これは、ファラデーカップという器具を用いて、知ることが出来ます。
時間があれば、検索で探してみてください。

キムワイプについて
どっちでもいいと思います!
でも、普通のちり紙は絶対ダメです。ほこりがたくさんつきますからね。
真空ポンプに悪い影響を与える恐れがおおいにあります。

バンド構造について
色はよく分かりませんが、バンド構造は、FT-IR(フーリエ変換型赤外分光計)などの分析装置で、知ることが出来ますよ。
以上です。
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この回答へのお礼

ありがとうございました。

以前ファラデーカップで検索をしたことがあるのですが
なかなか検索に引っかからなくて。。。
もしいいHPを見つけましたら教えてください。

お礼日時:2001/03/15 08:29

またまた書き込みします。

気になったので♪

ファラデーカップのことは少ししか書かれていませんが、
イオン源のことがたくさん書かれていたので、豆知識がたくさん手に入るのではないかと思います。
参考にして下さい。

学校にね、Fカップがあるんですけどね、30万円くらいしたそうです。
果たしてそれだけの価値があるのかどうかは・・・??
なかなか、式の計算どおりにはならないのが実験ですよね(笑)。

参考URL:http://www2.ionbeam.hosei.ac.jp/thesis/1992/1-1. …
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この回答へのお礼

またまたありがとうございました。

今後、イオン銃の電流密度を測定しなければならないことがくると思いますので、このHPはとても参考になりました。
先日はじめてファラデーカップを見たのですが、かなり小さかったのを覚えてます。こんな小さなもので30万もするなんて。。。装置って高いですよね(笑)

お礼日時:2001/03/16 08:59

薄膜の色は、


 ・ついている薄膜の材質(分光特性、屈折率)
 ・膜厚
の2つがわかると計算することが出来ます。計算自体は面倒なので手計算よりもプログラムを使った方がいいでしょう。
(そういうソフトもあります、、、がすぐには名前は出てこないのでご勘弁)

キムワイプ
これ、確かにほこりは普通の紙より出ませんが、それでも結構ほこりは出ます。
パーティクルカウンタを使ってちょっともんでみればわかります。
アルミホイルも完全にきれいとは言いませんが、まだましだと思います。(こちらは試したことない)

では。
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この回答へのお礼

ありがとうございました。

計算ソフトの名前がわかりましたら、すぐに教えてください。

ホコリ自体付きにくいとはいえ、長時間放置しておくとかなり汚れますよね?
私たちのところではもったいないということで何度も繰り返し使用していますが、大気中に放置しているので、使用前はアルコールなどで洗浄した方がいいのでしょうか?

お礼日時:2001/03/15 08:39

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