WDX（波長分散型X線分析装置）とEDX（エネルギー分散型X線分析装置）との比較について

WDX（波長分散型X線分析装置）とEDX（エネルギー分散型X線分析装置）との違いについて教えてください。
＊：蛍光X線ではなくSEMに付属するものです。
WDXはEDXと違いピークの分離能がよいことはわかるのですが、感度もやはりWDXの方がよいのでしょうか？？
その他、WDXとEDXの比較が乗っているサイトとかわかる方
は、大変面倒とは思いますが、教えてください。よろしくお願いいたします。

No.1 ベストアンサー 回答者： shota_TK 回答日時： 2003/05/14 17:18

EDX（SEM計装）しか使ったことがないので，比較ができませんが，参考URLや下記サイトが参考になるでしょうか．

http://www.muroran-it.ac.jp/mat/momo/epma/epma.h …
メーカーに問い合わせるのがいいと思いますよ．
取り急ぎ．

参考URL：http://www.dent.niigata-u.ac.jp/epma/edxwdx.html

No.2 回答者： furu007 回答日時： 2003/05/17 01:58

おっしゃる通り、WDXはスペクトル分解能が高く、約10A程度です。

対してEDXは約100A程度です。この特性は近接したピーク間の干渉を抑え、同定の確度を上げるのに有効です。
しかし、EDXが広い周波数帯を同時に処理できるのに対して、WDXは周波数掃引に時間がかかります。またWDXは回折格子や分散系を必要とするため照射X線のほとんどが試料に当たる前に吸収されてしまい、そのためEDXに比べて強いX線強度が必要となります。
強いX線を長時間の掃引中当てる事により、試料にダメージを与える事もあります。

「エネルギー分散型X線分析」合志陽一他編（学会出版センター）に、よく分かる一覧表と説明があります。