真空蒸着装置の真空引きについて。

　真空蒸着機で一番気になるのは真空引きの時間です。高性能なポンプに交換する以外に真空引きの時間を短縮する方法はないのでしょうか？ガスを注入するなどのワンポイント的なものならば即導入できると思うのでよろしくお願いします！

No.1 回答者： uhyohyohyo 回答日時： 2003/09/06 10:01

もしガラスベルジャが使い古されていて汚れていたら綺麗に洗ってください。

取り外しが楽なら外してジャバジャバ水洗いした方がいいでしょう。
そして、内部の埃・細かな金属片なども綺麗に掃除機で吸い取り、場合によっては水拭きでもいいかもしれません。ただ、その後にエタやアセトンで拭いておいた方がいいかも。
とにかく内部にガスが吸着などで残留しそうなモノを排除します。表面積をなるべく小さく。油汚れなどは綺麗に拭取ってください。アウトガスが多くて高真空到達の妨げになります。