Siウエハーの製造過程を知りたいと思っています。
素人の人にでもわかるように説明をして欲しいのですが。。。研磨面はどのように研磨されているのかとか。。。
どこかいいHPがあればそのHPを教えてください。

A 回答 (4件)

参考URLのところは、どうでしょうか。


小さいながらも写真が載っているし。

他にも、こんなところが。

http://www.wafernet.com/PresWK/h-ptl-as3_wsc_sil …

製造過程を説明しているだけのサイトなら、幾つも見つかるのですが、
やっぱり、企業秘密とかが有るからなのか、写真まで載せている
サイトは少ないですね。

参考URL:http://www.msil.ab.psiweb.com/english/msilhist5- …
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この回答へのお礼

お返事が遅くなって申し訳ありませんでした。

とても丁寧に書かれている?HPを教えていただきありがとうございました。
ただ、、、私、英語が苦手で。。。
英語の勉強とシリコンの勉強を兼ねて、頑張って訳していきたいと思ってます。

ありがとうございました。

お礼日時:2001/05/07 16:15

 NHKがシリーズで放送していた「電子立国・日本の…」(…部分は忘れた)が、ビデオも出ていますし、本も出ていて参考になると思います。

大まかな製造工程は、メーカーのHPで判ると思います。しかし、上記の番組はウェハーに関わっている人たちの間でも、話題になった番組ですし、なかなか良く出来ています。私は、テレビも本も見ましたが、とっても面白く、かつ、よく出来ています。
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この回答へのお礼

お返事が遅くなって申し訳ありませんでした。

そのビデオは必見なんですね。プロジェクトXのような感じのビデオなんでしょうか?とても見たくなってきました。。。今日あたりでも探してみます。

ありがとうございました。

お礼日時:2001/05/07 16:23

HPではありませんが、NHKスペシャル 「電子立国日本の自叙伝」という番組で非常にわかりやすく説明していました。

お近くにヴィデオをお持ちの方がいれば見ることをお勧めします。
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この回答へのお礼

お返事が遅くなって申し訳ありませんでした。

ビデオですか。。。誰も持ってないかもしれません。。。
レンタルショップとかにはあるんでしょうか?今度探してみます。
中古のビデオショップみたいなところにもあるでしょうか???

ありがとうございました。

お礼日時:2001/05/07 16:21

作っているメーカのホームページです。


概略の製造工程が書かれています。

参考URL:http://www.komsil.co.jp/
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この回答へのお礼

お返事が遅くなって申し訳ありませんでした。

いいHPを教えていただいてありがとうございました。
もうちょっと細かく書かれてれば嬉しかったのですが。。。
CZ単結晶とかFZ単結晶についてなど。。。

ありがとうございました。

お礼日時:2001/05/07 16:19

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o----C--------------o 
↑       |        ↑ 
e_i       R        e_o
|       |        |
o--------------------o  

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Aベストアンサー

>E_1(s) = (E_0/s + tanθ/s^2)e(-st_0)

前稿を訂正。
(まったく見当違いをしてました)

e_1(t) は正弦波じゃなくて、ステップ波形に直線波形(傾斜角 = θ)を重畳したものですね。
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Aベストアンサー

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